有什（shí）麽方法（fǎ）來提（tí）高潔淨室能源利用率

      有什麽方法來（lái）提高潔淨室能（néng）源（yuán）利用率

      或許潔淨室過度建設和過高標準的現狀即將成為過去，至少，目前Lawren Berkeley Labs能源項目的研究員及經理Tengfang（Tim）Xu有辦法改變現狀。“理論上講，氣流速度每提高10%，風扇的能耗將增加30%。如果將各種設備等比例縮減到足（zú）夠維持汙染控製的低能耗，將節省大量的能源。”作為環境科學與技術學院（IEST）“走近專家”係列課程的一部分，Xu近通過網絡開設了“潔淨室設計與運營的可（kě）持續發展問題（tí）”。課程針對潔淨室和（hé）微環境（ME）的規劃、設計、建設、運營直到退出，從可持續發展角度提出了一些列建議和指導方針。   

      生產設備通常消耗整個潔淨室1/3的能量，冷卻和泵浦係統再消耗20%，空氣循環係統消耗另外（wài）的20~30%。剩餘的部分用於支持去離子水和其它生產用水的水泵、排氣扇、氮氣生成設備及其（qí）它輔助設備。潔淨室不同區域實際空氣流速和氣體交換率（lǜ）可（kě）以存在很大差別（bié），有些區域要求單向氣流，而其它區域則不然。   

      Xu給（gěi）出了一些實際的例子：幾乎一半（bàn）潔淨等級為4級的潔淨室還有一部分潔淨等級為3級的ME都存在標準過高的問題，主要表現在當前（qián）工業準則中 ME的推薦氣體流速和壓強差。對風險的（de）恐懼和過於保守（shǒu）的設計思想是造成這種標準過高的原因。常見（jiàn）的想法就是既然某種方案從前可以工作（zuò），為什麽還要去改變呢？Xu提（tí）出在潔淨室規劃階段采（cǎi）用分級收集信息的方（fāng）法，這樣可以對計劃的決策（cè）提供指導，並把能源消耗作為一項重要的參數考慮進去。同時，針對某（mǒu）些特定係統（tǒng），Xu給出（chū）了一些建議方法（表），這（zhè）些方法已被更新到IEST-RP-CC012.2中。他說：“更好地（dì）利用能源，會改善環境質量（liàng）。對（duì）於潔淨室來說，從一個產（chǎn）業的角度考慮，能源（yuán）利用率、設備穩定性、生產效率（lǜ）以及未來的指導方針都會對現行方（fāng）法產生很大影響。”    

      同時，Xu還鼓勵讓（ràng）整個流程中的人員參與決策，共同確定諸如：係統的規模（工藝、機械以及電氣相關（guān）人員），低氣壓壓力損失（機械和結構設（shè）計人員），和設定具有實際意義的氣體流速要求（機械和控製人（rén）員）。    

      在另一個實際例子中：Xu選擇了12種不同型號4×2英尺的風扇，通過比較其能源利用率，發現不同型號之間存在很大差別，有些甚至不（bú）能在要求的工作區間內正常工作（zuò）。對於HVAC空氣係統，需要考慮的測試項目包括：低（dī）氣壓壓力損失、適當的空氣循環係統、空氣交換率、用量控製過濾、風扇效率、風扇過濾單元以及排氣係統優化。Xu指出，通過優化ME和潔淨室的空氣（qì）流，在保（bǎo）持對（duì）顆粒有效過濾的情況下，能量消耗可以降低10~85%。 

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