株洲hepa高效過（guò）濾器

其（qí）實很多人對於高效（xiào）過濾（lǜ）器（qì）的（de）了解還是停留（liú）在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室（shì）要安裝初效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒子其（qí）濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句（jù）話的詳細意思（sī）其實並沒有多少人思考！

比（bǐ）如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽（me）？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高（gāo）效過濾器的一些詳細介紹。

不太（tài）懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續（xù）優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於（yú）99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的（de）氣（qì）溶膠下通過率大於99.95%的就可（kě）以,也就是H13以上;
EN1822
從圖（tú）中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以（yǐ）是整體的5倍（bèi）這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑考慮（lǜ）之下（xià）;
IEST描述（shù）
針對以（yǐ）上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量（liàng）中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的（de）質量大於這個（gè）值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求（qiú）的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是（shì）單（dān）分散相或者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的（de）氣溶膠群體,而絕不是單一（yī）粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的（de）粒子大於這個值.50%的（de）粒子小於這個值（zhí）。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實（shí）它們的CMD大約（yuē）在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占（zhàn）有的數量權重雖然小,但是質量（liàng）權重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致等同（tóng）於EN1882的（de）MPPS的顆粒直（zhí）徑（jìng）.這裏（lǐ）也（yě）僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的（de）分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對（duì）某（mǒu）一種濾料（liào）,比如某（mǒu）一種玻（bō）璃纖（xiān）維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或（huò）者多（duō）分散相的粒子,布滿整（zhěng）體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據（jù）現（xiàn）在EN1822的統計,絕（jué）大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言（yán）,氣溶膠發生器或（huò）者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶膠粒徑（jìng）不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差（chà）和粒（lì）徑大小沒有直（zhí）接關（guān）係，也就是計（jì）算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時候不是針對某一（yī）個（gè）粒徑的而是針對一個區間的。這（zhè）個也（yě）就是為什麽MPPS在（zài）實際現場測試的時候（hòu）要求測試一個（gè）區間（jiān）範（fàn）圍內的所有粒子數（shù）量總和（hé）;同時也要（yào）說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的（de）MPPS測（cè）試,一般要求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所（suǒ）有粒子總數。這裏（lǐ）所隱含（hán）的條件（jiàn）是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化（huà）],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶（róng）膠發生器

氣溶（róng）膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保（bǎo）證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器（qì） 單分（fèn）散相異（yì）凝結（jié） 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠（jiāo）發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶（róng）膠（jiāo）發塵+DPMS 多分（fèn）散電移過濾（lǜ）為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試（shì），更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工（gōng）廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加（jiā）起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法（fǎ）,如果是采用單分散相粒子在測（cè）試效率的時候是不計量粒（lì）子分徑的。直接把（bǎ）所有的粒子數量（liàng）加（jiā）在一起就可以作（zuò）為上下遊分別的（de）粒子計數了。但是（shì）這裏要注意（yì）的是單分散相也不是真（zhēn）正的單分散相還是有各種粒（lì）徑分布的（de）。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽（me）回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒（lì）子粒徑分布和數量。需要注意的（de）是（shì）在上下遊收集（jí）的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全部或者部分（fèn）粒子數量即（jí）可。

舉例來（lái）說明:現在EN已經發現MPPS粒子（zǐ）一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值（zhí）與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的（de）要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際（jì）的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是（shì）測量（liàng）分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者（zhě）測試方最終的計（jì）數結果（guǒ）0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根（gēn）據EN1822要求,最好的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範也可（kě）以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為（wéi）劑量範圍（wéi）.因此實際的（de）測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種（zhǒng）情（qíng）況下進（jìn）行計量。

考慮到實際的光學粒子分析（xī）儀,應該可以（yǐ）在（zài）其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子（zǐ）或者部（bù）分的粒（lì）子。到底怎麽選（xuǎn）根據實（shí）際的粒（lì）子分析儀（yí）來。實際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用（yòng）第二種分段發可以在0.09um-0.27um之（zhī）間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩（liǎng）種（zhǒng）方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別（bié）是在現場的時候；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器或（huò）者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑（jìng）也可以測（cè）數量。不過需（xū）要說明的是不能認為它什麽（me）粒徑都能測,它一般隻能（néng）分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的（de）什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣（yàng）的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的（de）接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的（de）最低MPPS的點是曲線找出（chū）來（lái）的,而不是實際測出來的（de）。規定要求測至少六種不同的粒（lì）徑,通過畫曲線的（de）方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用（yòng）單分散相的粒（lì）子發生器來測（cè）試。因此其實（shí）找（zhǎo）到的不是單（dān）一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間（jiān）的粒徑,所以這更加（jiā）說明了是粒（lì）子分析隻能測試出某一段粒（lì）徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量（liàng）濃度就可（kě）以了,而對於高要求的U15以上（shàng）要（yào）求用粒子計數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測（cè）出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其屬（shǔ）於多分散相，因此其（qí）實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的（de）高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就（jiù）是測包含（hán）MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於（yú）現場測試的隻能是樣本,而且不可能（néng）全部都測.因此實際的結果分析采用了（le）泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知（zhī）識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準（zhǔn）差/幾（jǐ）何標（biāo）準差