烏魯木（mù）齊hepa高效過濾器

其實很多（duō）人對於高效過（guò）濾器（qì）的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的（de）高效H14，但是對於高效過濾器（qì）的一些特性還是不太了解的（de）！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方（fāng）法介紹的H14或者U15過濾器的（de）測試（shì）粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記（jì），針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的（de）就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的（de）HEPA 的（de）使（shǐ）用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後（hòu）歐洲持續優化自身規範和標準

目前（qián）國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒（lì）的整體效率（lǜ）不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通（tōng）過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮（lǜ）之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是（shì）所有的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量大於這個值,50%的質量（liàng）小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要（yào）求的是質量（liàng）中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分（fèn）散相（xiàng）或者多分（fèn）散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一（yī）粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大於這（zhè）個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其（qí）實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高（gāo）效係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某（mǒu）一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少（shǎo）做5次重複試驗。每（měi）次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布（bù）滿整（zhěng）體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低（dī）點。根據現在EN1822的統計,絕（jué）大部分的最易穿透的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個（gè）值。從商（shāng）業角度而言,氣（qì）溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶（róng）膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從（cóng）標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直（zhí）接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關（guān）係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某（mǒu）一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際（jì）現場測試的時候要求測試一個區間範（fàn）圍內的所有粒子數量總（zǒng）和;同時也要說明的是不同的過濾（lǜ）風速下MPPS是不同的（de）。出（chū）廠前需要明確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總（zǒng）數。這（zhè）裏所隱含的條件是氣溶膠（jiāo）的發塵（chén）應該正（zhèng）好（hǎo）落在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化（huà）],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶（róng）膠發（fā）生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同（tóng）凝結發塵,在DPMS的幫（bāng）助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣（qì）溶膠發生器 單分散（sàn）相異（yì）凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射凝結式（shì）氣溶膠發生（shēng）器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以（yǐ）看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試（shì）質量濃度比;而（ér）歐盟（méng）采（cǎi）用後麵四種進行測試（shì），更加合理（lǐ）優越（yuè）。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單（dān）分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分（fèn）徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下（xià）遊分別的粒子計（jì）數了。但是這裏要注（zhù）意的（de）是單（dān）分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就（jiù）不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行（háng）測試（shì）的時候要求同（tóng）時測粒子粒徑分布和數（shù）量。需要注（zhù）意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者（zhě）部（bù）分粒子數量即可。

舉例來說（shuō）明:現在EN已（yǐ）經發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是（shì）因為實際的光學（xué）粒子計數器有一個測量（liàng）精度（dù）問題（tí）。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家（jiā）或者（zhě）測試方最終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上任選一（yī）組作為劑（jì）量範圍（wéi）.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情（qíng）況下進行計量。

考慮到實際的光學（xué）粒子分析儀,應該可以在其（qí）中三個分段（duàn）裏麵任選一個並且選擇全部（bù）的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際（jì）的工程結果是（shì）選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作為（wéi）劑（jì）量標準。

以上是（shì）對多分散粒子測試時候的（de）分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種方法。

一（yī）種是用於測定（dìng）質量濃度（dù）的光度計,它不能計數。因此可（kě）以用在DOP方法測試H13和H14上（shàng）麵特（tè）別是在現場的時候；

另外一種是用粒（lì）子計數器或者粒徑分析計數器（qì）,它既可以測粒徑也可以測（cè）數量。不過需要（yào）說明的是不能認為它什麽粒徑都能測（cè）,它一般（bān）隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的（de）粒徑也能分析（xī）的一清（qīng）二楚. 因此實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一（yī）段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的（de）點是曲線（xiàn）找出來的,而不是實際測出來的。規定要（yào）求測（cè）至少六種（zhǒng）不同（tóng）的粒徑,通過畫（huà）曲線的方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法隻能用單分散相（xiàng）的（de）粒子（zǐ）發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並（bìng）且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒（lì）徑,所（suǒ）以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一（yī）粒徑的;

4. IEST的測試方法

對（duì）於（yú）H13和H14,IEST要（yào）求對（duì）於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計（jì）數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組中的更加（jiā）不利（lì）的那一個數據.但是並不需（xū）要先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此（cǐ）其實導致的（de）結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已（yǐ）經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是（shì）使用H14以上的高效比較（jiào）保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明（míng）,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測（cè）試結果（guǒ）的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能（néng）全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分（fèn）布（bù）的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學（xué）相關知識,包括泊鬆（sōng）分布/95%置信區間/標準（zhǔn）差/幾何（hé）標準差