上海hepa高效過（guò）濾器

其實很多人（rén）對（duì）於高效過濾器的了解還是停（tíng）留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要（yào）安裝初效G4+中（zhōng）效F5+中高效F9+末端（duān）的高效H14，但是（shì）對於高（gāo）效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少（shǎo）人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹（shào）的H14或者U15過濾器的測試粒子的（de）尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器（qì）的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標（biāo）準。其（qí）後（hòu）歐洲持續優（yōu）化自身規範和（hé）標準

目前國（guó）家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大（dà）部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低（dī）於99.97%為高（gāo）效;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的（de）氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也（yě）就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信息:EN1882對（duì）於局部穿透率可以是整（zhěng）體的5倍（bèi）這（zhè）當然（rán）是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣（qì）溶膠粒（lì）徑分布當中（zhōng）50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣（qì）溶膠群,也就是氣溶膠是單分散（sàn）相或者多分散相的,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不是單一粒徑（jìng）的（de）0.3um的氣（qì）溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子（zǐ）尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個（gè）值（zhí）.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同於（yú）EN1882的（de）MPPS的顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅是類似（sì），不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃（huá）入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或（huò）者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間（jiān）。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統計,絕大（dà）部分的最易穿透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角度而（ér）言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶膠粒徑不可能保（bǎo）證為唯一粒徑（jìng）粒子（zǐ）,從標準差（chà）而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標（biāo）準差和粒徑大小沒有直接關係，也（yě）就是計算結果和粒徑沒（méi）有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時（shí）候不是針對某一個粒徑（jìng）的而是（shì）針對一（yī）個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範（fàn）圍（wéi）內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是（shì）不同的過濾風（fēng）速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數（shù）。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應（yīng）該正好落在（zài）這（zhè）個範圍之內,而（ér）且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超（chāo）過（guò）10%;

2.氣溶膠發（fā）生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱（rè）發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同凝結發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射凝結式（shì）氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二（èr）種,用光度儀測試質量濃度比;而（ér）歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過（guò）問題在於MPPS不可（kě）能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數（shù）量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效（xiào）率的時候是不計量粒子分（fèn）徑的（de）。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊（yóu）分別的粒子（zǐ）計數了。但是這裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正（zhèng）的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於（yú）1.5就可以這麽認為了。

對於（yú）多分散相就不是這麽回（huí）事了。因為標（biāo）準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒（lì）徑分布和（hé）數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分（fèn）段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現（xiàn）在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐（zuò）落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的最大（dà）值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者（zhě）部分。這是因為實際的（de）光學粒子計數器有一個測量精度問題。大（dà）家知道的一般是（shì）測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實（shí）際的結果是大部分（fèn）廠家或者測（cè）試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基（jī）礎。

根據EN1822要求,最好的測（cè）量範（fàn）圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段上任選（xuǎn）一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種（zhǒng）情況（kuàng）下進行計量。

考慮到實際的光（guāng）學粒子分析儀（yí）,應該可（kě）以（yǐ）在其中三個分段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底（dǐ）怎麽選根據實際的粒（lì）子（zǐ）分析儀來。實際的工程結果（guǒ）是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用（yòng）第二種分（fèn）段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多（duō）分散粒子（zǐ）測試時候的分析與（yǔ）說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度（dù）計,它不能計數。因此可以用（yòng）在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一（yī）種是用粒子計數器或（huò）者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測數量。不過（guò）需要說明的是不能認為它什麽（me）粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因（yīn）此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑（jìng）之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最（zuì）低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測（cè）至少六種不同的粒徑（jìng）,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測（cè）試。因此其實找到的不（bú）是單一（yī）粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒（lì）徑,所以這（zhè）更加說明了是粒子分（fèn）析隻能（néng）測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高（gāo）要（yào）求的（de）U15以上要求用粒子計數器（qì）,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不（bú）利的那（nà）一個數據.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其（qí）屬（shǔ）於多分散相（xiàng），因此其（qí）實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求（qiú）了。因此要求現（xiàn）場的測試質量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是（shì）合理的.因為這裏的結（jié）果已（yǐ）經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對（duì）於（yú）大部分的項（xiàng）目而言,還（hái）是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試（shì）方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒（lì）徑的數量;

6:對測試（shì）結果的（de）分析

由（yóu）於（yú）現場測試的隻能是樣本,而且不（bú）可能全部都測.因此實際的結（jié）果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且（qiě）在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差