麗（lì）水（shuǐ）用塵埃粒子計數器對高（gāo）效過濾（lǜ）器檢測檢漏方法

用塵埃粒子計數器對高效（xiào）過濾器檢測檢（jiǎn）漏方法及檢測檢漏標準：用大氣塵為塵（chén）源與粒子計數器配合，對高效過濾器作檢漏檢查。打開風機，在離高效過濾器表麵25mm處采用塵埃粒子計數器掃描檢測，掃描速度為5cm-30 cm /s，檢測出0.5μm的微粒數（shù）不得超過3500粒/m3。

塵埃粒子計數器高效過濾器檢漏方法（fǎ）：

潔淨度級別等於或高於100級的潔淨車間的高效過濾器安裝前必須作現（xiàn）場檢漏，重點（diǎn）是檢查過（guò）濾器有無破損漏泄（xiè）等自身質量。

所有級別的潔淨車間（jiān），都要求對其（qí）安裝好的（de）高效過濾器（qì）作檢漏，在現行規範沒（méi）有（yǒu）給出檢查數量（liàng）時，可以自定一個比例，安裝檢漏的重（chóng）點是空氣（qì）過濾器邊（biān）框密封質量。

高效過濾器檢漏常用的儀器有:塵（chén）埃粒（lì）子計數器和5C氣溶膠發生器。

用於測量（liàng）潔淨環境（jìng）中單位體積空氣（qì）內的塵埃粒（lì）子大小及數目，可直接檢測潔（jié）淨度等級為十級至（zhì）三十萬級的潔淨環境（jìng）。體（tǐ）積小、重量輕、檢測精（jīng）度高、功能操作（zuò）簡單明了，微處理器控製，可貯存、打印（yìn）測量結果，測試潔淨環境十分便利。

5C氣溶膠發生器

5C氣溶膠發生器（qì）能產生一致的多種（zhǒng）直徑分布的氣溶膠粒子，TDA-5C氣溶膠發生器與TDA-2G或TDA-2H等氣溶膠光度（dù）計配合使用時能提供足夠（gòu）的挑戰粒子（zǐ）去測量高效過濾係統。

潔淨室高效過（guò）濾器粒子（zǐ）計數器法檢漏的一般規定

（1）被檢過濾器必須（xū）已測過風量，在設計風速的80%～120%之間運行。

（2）在被檢高效過濾器上風側測定大氣塵的微（wēi）粒數（shù），以大於或等於（yú）0.5ΜM微粒為準，其濃度必須（xū）大於（yú）或等於3.5×`10^4`粒/L；若檢測超高效過濾器（qì），則以大於或等於0.1ΜM微粒為準，其濃度必須大於（yú）或等於3.5×`10^6`～3.5×`10^7`粒/L。

（3）若上風側濃度不符合上項規定，則應引入不經過濾的空氣，如果（guǒ）還達不到規定（dìng），則不宜用粒子計數器（qì）法和凝結核計數（shù）器法檢漏。

（4）檢漏（lòu）時將采樣口放在距離被（bèi）檢過濾器表麵2～3CM處，以（yǐ）5～20MM/S的速度移動，對被檢過濾器整個斷（duàn）麵、封頭膠和安裝框架處進行掃描。