金華hepa高效過（guò）濾器

其實很（hěn）多人對於高效過（guò）濾器的了解還（hái）是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要（yào）安裝初效G4+中（zhōng）效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是（shì）不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句（jù）話的詳細意思其實並沒有多少（shǎo）人思（sī）考！

比如MPPS方法介（jiè）紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什（shí）麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器（qì）的一些（xiē）詳（xiáng）細介紹。

不太懂的就看黑體字就可（kě）以了！！！！

1.從HEPA高效過濾（lǜ）器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早（zǎo）的HEPA 的（de）使用來源於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國（guó）家（jiā）上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準。中國國內大部分項目緊跟的是（shì）EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對於（yú）MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息（xī）:EN1882對於局部穿透率（lǜ）可以是整（zhěng）體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針對以上的（de）兩張表格,分析如（rú）下:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於（yú）這個值,50%的（de）質量小於這（zhè）個值.

因此不要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對（duì）0.3um的（de）要求.其實這個（gè）規定要求的是質量（liàng）中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一（yī）個範圍內的氣溶（róng）膠（jiāo）群體（tǐ）,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值（zhí）。MMD=0.3um的顆粒們其實它（tā）們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量（liàng）權重雖然小（xiǎo）,但是質量權重（chóng）很大（dà）。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這（zhè）裏也僅僅是類似（sì），不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的（de）分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對（duì）某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每（měi）次試驗均（jun1）要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在（zài）EN1822的統計,絕大部分的（de）最易穿透的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而（ér）言,氣溶膠發生（shēng）器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣溶膠粒（lì）徑不可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有（yǒu）直（zhí）接關係（xì），也就是計算結果（guǒ）和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的（de）。這個也就是為什麽MPPS在實際現場（chǎng）測試的時候要求測試一個區間（jiān）範圍內（nèi）的所有（yǒu）粒子數量總和;同時也要說（shuō）明的是不同的過（guò）濾風速（sù）下MPPS是（shì）不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的（de）MPPS測試,一般要求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之內的所有粒子總數。這（zhè）裏所隱含的條件（jiàn）是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以（yǐ）分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵（chén）和同凝結發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒（lì）徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空（kōng）氣（qì）多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結（jié） 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異（yì）凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生（shēng）器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過（guò）問題在於MPPS不（bú）可能直接測量一個粒徑值。其（qí）實是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全（quán）部加起來作為（wéi）MPPS的數（shù）量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單（dān）分（fèn）散相粒（lì）子在測試效率的時候是（shì）不計量粒子分徑的。直接把所有（yǒu）的粒子數量加在（zài）一起就可以作（zuò）為上下遊分別的粒子計數（shù）了。但（dàn）是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布（bù）的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標（biāo）準（zhǔn）差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時（shí）測粒子粒徑分布（bù）和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的（de）要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部（bù）分。這是（shì）因為實際的光學粒子計數器有一個測量精（jīng）度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計（jì）數結果（guǒ）0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間（jiān）或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際（jì）的測試可以（yǐ）在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行（háng）計量。

考慮（lǜ）到（dào）實際的光學粒子分（fèn）析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒子（zǐ）。到底（dǐ）怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分也（yě）就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對（duì）多分散粒子測（cè）試時候（hòu）的分析與說明。

3:接收方法（fǎ）

一般（bān）有兩種方法。

一種是用於測定（dìng）質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外（wài）一種是用（yòng）粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可（kě）以測粒徑也可以測數（shù）量。不過需要說明的（de）是不能認（rèn）為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分（fèn）段測（cè）粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑（jìng）也能分析的一（yī）清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是（shì）在一段粒徑之間的。上麵已（yǐ）經說過了。

這是因為EN1822-3對於（yú）濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的（de）,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種（zhǒng）方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到（dào）的（de）不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的（de）粒徑（jìng）,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑（jìng）之（zhī）間而絕不是細到每一（yī）粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可（kě）以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果（guǒ）就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經（jīng）大於0.3um的要求（qiú）了。因此要求現（xiàn）場的測試質量（liàng）濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對（duì）於大部分的項目而言,還（hái）是使用H14以上的高效比（bǐ）較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要（yào）測試MPPS了,對於測試（shì）方法上麵（miàn）已經有說明,總體而言就是測包（bāo）含MPPS的一段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部（bù）都測.因（yīn）此實際的結果分析采用了泊（bó）鬆（sōng）分布的95%置信區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統計學相關知（zhī）識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差