邯鄲（dān）hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器（qì）的了解還是停（tíng）留在（zài）表（biǎo）麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高效（xiào）F9+末端的高效H14，但是對於（yú）高（gāo）效過濾器的一些特性還是不太了（le）解的！

比如效率為針（zhēn）對0.3um的粒子其濃度不低（dī）於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有（yǒu）多少人（rén）思考！

比（bǐ）如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾（lǜ）器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一（yī）些詳細介紹。

不太懂（dǒng）的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾（lǜ）器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持（chí）續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國（guó）國內（nèi）大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對（duì）於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶（róng）膠下通過率（lǜ）大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於（yú）局部穿（chuān）透（tòu）率可以是整體（tǐ）的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述（shù）
針對以上的兩張表（biǎo）格,分析如下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是（shì）所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量（liàng）大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的（de）要求.其實（shí）這個規（guī）定要求的是質量中徑在0.3um的（de）氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們（men）的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權（quán）重很（hěn）大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少（shǎo）,是需要（yào）對某一種濾料,比如某（mǒu）一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均（jun1）要發單[準]分散相或（huò）者多（duō）分散相的（de）粒子,布滿整（zhěng）體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計（jì）,絕大部分的最易穿透的粒（lì）子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角（jiǎo）度（dù）而（ér）言,氣溶（róng）膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑（jìng）不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言（yán）.σ1.5為多分散。需要（yào）注意的是這（zhè）個標準（zhǔn）差（chà）和粒徑大小沒有直（zhí）接關係，也就（jiù）是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針（zhēn）對某一個粒徑（jìng）的而是針對一個（gè）區間（jiān）的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時（shí）候要求測（cè）試一個區（qū）間範圍內的（de）所有粒子數量總和;同時也要說明（míng）的（de）是不同（tóng）的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額（é）定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一（yī）般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這（zhè）裏所隱含的條件是氣溶膠的（de）發塵應該正好落在這個範圍之內,而且（qiě）粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結（jié）發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單（dān）分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多分散（sàn）冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發（fā）生（shēng）器 單分散相異（yì）凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異（yì）凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們使用的是第一種和第二種（zhǒng）,用光度儀測試質量濃（nóng）度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問（wèn）題在於MPPS不可能直接測（cè）量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工（gōng）廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作（zuò）為MPPS的（de）數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是（shì）采用單分散相粒子在測試效率的時候（hòu）是不計量粒子分（fèn）徑的。直接（jiē）把所有的粒（lì）子（zǐ）數量加在一起就（jiù）可以作（zuò）為上下（xià）遊（yóu）分別的粒（lì）子計數了。但是這裏要注意的（de）是單分（fèn）散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多（duō）分散相就不是（shì）這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑（jìng）分布和數量。需要（yào）注意的是在上下遊收集的時候（hòu）,在MPPS已經知道（dào）的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒（lì）子數量即可。

舉例來（lái）說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於（yú）0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數（shù）器有一個測量精度問（wèn）題。大家知道的一般是測量分段為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或（huò）者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以（yǐ）要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選（xuǎn）一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以（yǐ）在其中三個分段裏（lǐ）麵任選一個並（bìng）且選擇全部的粒子或者部分的粒子（zǐ）。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子,因此采（cǎi）用第二種分段（duàn）發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的（de）值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一（yī）般有（yǒu）兩種方法。

一種是用於測（cè）定質量（liàng）濃度的光（guāng）度計,它不能計數。因（yīn）此（cǐ）可以用在DOP方（fāng）法測試（shì）H13和H14上麵（miàn）特別是在現場（chǎng）的（de）時候；

另外（wài）一種是用粒子計數器或者粒徑（jìng）分析計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測數量。不過（guò）需要說明的是不能認為它什麽（me）粒徑都能（néng）測,它一般（bān）隻能分段測粒徑（jìng）。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒（lì）徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經（jīng）說過（guò）了（le）。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出（chū）來的,而不是實際測出來的。規（guī）定要求測至少六種不同的粒徑（jìng）,通過畫曲線的（de）方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生（shēng）器來測試。因此其（qí）實（shí）找（zhǎo）到的不是單一粒徑,而是一個（gè）區間;

並且在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說（shuō）明了是（shì）粒子分（fèn）析隻能測試（shì）出某（mǒu）一段（duàn）粒徑之間而絕不是細（xì）到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以（yǐ）上要求用粒子計數器,並（bìng）且直接讀（dú）取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散（sàn）相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的要求（qiú）了。因此要求現場的測試質量濃度比（bǐ）為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比（bǐ）0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要（yào）求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了,對於測（cè）試（shì）方法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言（yán）就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際（jì）的結（jié）果分（fèn）析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分（fèn）布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾何標準差