桂林hepa高效過（guò）濾器

其實很（hěn）多人對於高效過濾器的（de）了解還是停留在表麵上的，

比如隻知（zhī）道潔淨室要安裝初效G4+中（zhōng）效F5+中（zhōng）高效F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器（qì）,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽（me）？

下麵的內容（róng）則是我自己以前整理的（de）一些筆記，針對高（gāo）效過濾器的一些詳細介紹。

不太（tài）懂的就看黑體字（zì）就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其（qí）後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行（háng）的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準（zhǔn）。中國國（guó）內大部分項目緊跟的（de）是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效（xiào）;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的（de）氣溶膠下（xià）通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局（jú）部穿透率可以是整體的5倍這當（dāng）然是（shì）在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有（yǒu）的（de）氣溶膠粒（lì）徑分布（bù）當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對0.3um的要求.其實這個規定要求的是（shì）質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範（fàn）圍（wéi）內的氣（qì）溶（róng）膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這（zhè）個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實（shí）它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小（xiǎo）,但是質（zhì）量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這（zhè）裏也僅僅是類似，不能完（wán）全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以（yǐ）前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某一種濾（lǜ）料,比（bǐ）如（rú）某一（yī）種玻璃纖維（wéi）做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次（cì）試驗均要發單[準]分散相或（huò）者多分散相的（de）粒子（zǐ）,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區間。最後用（yòng）曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易（yì）穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而（ér）言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和（hé）粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频（men）可以認為MPPS的粒徑（jìng）大（dà）小在測試的時候不（bú）是針對某一個粒徑的而是針對一（yī）個區間的。這個（gè）也就是（shì）為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子（zǐ）數量總和;同時也要說明（míng）的是（shì）不（bú）同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內（nèi）的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣（qì）溶膠的發塵應該正好（hǎo）落在這個範圍之內,而且粒徑的中值（zhí）CMD應該正好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器（qì）

氣溶膠發生器可以分（fèn）為（wéi）若（ruò）幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發（fā）塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保（bǎo）證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空（kōng）氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準（zhǔn）單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相（xiàng） σ=1.1不（bú）穩定

從（cóng）美國的（de）IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種（zhǒng）,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後（hòu）麵（miàn）四種進行測試，更（gèng）加合（hé）理優越。不過問題在（zài）於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工（gōng）廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該（gāi）是（shì）符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測（cè）試效率的時候（hòu）是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加（jiā）在一起就可以作為上下遊（yóu）分別的（de）粒子計數了（le）。但是這裏要注意（yì）的是單分散相（xiàng）也不是真（zhēn）正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以（yǐ）這麽認為了。

對於多分（fèn）散相就不是這（zhè）麽回事了。因為標準差大於1.5，因此（cǐ）在進行（háng）測試的時候要求同時測粒子粒（lì）徑分布（bù）和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況（kuàng）下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數（shù）量即可。

舉例來說明（míng）:現在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值（zhí）之比為2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這（zhè）是因為實際的光（guāng）學粒子計數器有（yǒu）一個測（cè）量精（jīng）度問題。大家（jiā）知道的一般是測（cè）量分（fèn）段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量（liàng）基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一（yī）組作為劑量範圍.因此實際的測試（shì）可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行計（jì）量。

考慮到實際的光學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中三個分段（duàn）裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽（me）選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程（chéng）結果是選擇0.1-0.2um之（zhī）間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段（duàn）發可以在0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的值作為劑量標準（zhǔn）。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法（fǎ）。

一（yī）種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可（kě）以用在DOP方法測試H13和H14上麵（miàn）特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者（zhě）粒徑分析計數器,它既可以測粒（lì）徑也可以測數量（liàng）。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能（néng）測（cè）,它一般（bān）隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大（dà）家想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一（yī）清二（èr）楚. 因此實際的（de）接收粒子MPPS是（shì）在一段粒徑（jìng）之間的。上（shàng）麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的（de）點（diǎn）是曲線找出來的,而（ér）不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過（guò）畫曲線的（de）方法找到（dào）最低點MPPS。這種方法（fǎ）隻能（néng）用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實（shí）找到的不是單一粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之（zhī）間而（ér）絕（jué）不是（shì）細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用（yòng）粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的（de）更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出（chū）MPPS值。

對於現場（chǎng）中的DOP檢測（cè）,很多公（gōng）司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果（guǒ）就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大於（yú）0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以（yǐ）上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有（yǒu）說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的分析

由於（yú）現場測試的（de）隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的（de）95%置信（xìn）區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差