崇左hepa高效過濾器

其（qí）實很多人（rén）對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高（gāo）效H14，但是對於高效（xiào）過濾器（qì）的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別（bié）高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源（yuán）於美國軍方, 為（wéi）MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內大部（bù）分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不（bú）低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的（de）氣溶膠下通過率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從（cóng）圖中可以看到（dào）如下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是整（zhěng）體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如（rú）下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的（de）氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的（de）規定@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針（zhēn）對（duì）0.3um的要求.其實這（zhè）個規定要（yào）求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也（yě）就是氣溶膠是單分散（sàn）相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺（chǐ）寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值（zhí）。MMD=0.3um的顆粒們其實它（tā）們的CMD大約在0.2um.這是因（yīn）為大顆粒的粒子（zǐ）占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同（tóng）。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高（gāo）效係列,不同於以（yǐ）前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是需要對某一種濾料,比如（rú）某一種玻璃纖維做實驗（yàn）室測試（shì）的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均（jun1）要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根（gēn）據（jù）現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而（ér）言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴（zuǐ）噴（pēn）出的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為（wéi）唯一粒徑（jìng）粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差（chà）和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是（shì）針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也（yě）就（jiù）是為什麽MPPS在（zài）實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也（yě）要說明的是不同的過濾（lǜ）風速（sù）下MPPS是不同的（de）。出廠前需要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數（shù）。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正（zhèng）好（hǎo）落在這個範圍之內,而且粒徑的中值（zhí）CMD應該正好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分（fèn）為（wéi）若幹（gàn）種,如熱（rè）發塵和冷發塵,異（yì）凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保（bǎo）證有單分散（sàn）相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異（yì）凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多（duō）分散電移過濾為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們（men）使用的（de）是第一種（zhǒng）和（hé）第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理（lǐ）優越。不過問題在（zài）於MPPS不（bú）可能直接測量（liàng）一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠（chǎng）直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部（bù）加（jiā）起來作為（wéi）MPPS的數量（liàng）考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單（dān）分散相粒子在測（cè）試（shì）效率的時（shí）候（hòu）是不計量粒子分徑的。直接把（bǎ）所有的（de）粒子數量加在一（yī）起就可以作為（wéi）上下遊分別的粒（lì）子計（jì）數（shù）了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分（fèn）布的。隻要標準差小於1.5就可以（yǐ）這（zhè）麽認（rèn）為了。

對於多分散相就（jiù）不是這麽（me）回事了。因為標準差大（dà）於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量（liàng）。需要注意的是在上下遊收集的（de）時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因（yīn）為實際（jì）的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的（de）一般是測量（liàng）分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作（zuò）為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中三（sān）個分段（duàn）裏麵任選（xuǎn）一（yī）個（gè）並且選擇（zé）全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根（gēn）據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之（zhī）間選（xuǎn）擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作（zuò）為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度（dù）的光度計,它（tā）不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別（bié）是在現場的（de）時候（hòu）；

另外一（yī）種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的（de）是不能認為它（tā）什麽粒徑都能測,它（tā）一般隻能分段（duàn）測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的（de）什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的（de）一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上（shàng）麵（miàn）已經說（shuō）過了。

這是因為EN1822-3對於濾料（liào）測試（shì）的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出來的,而（ér）不是實（shí）際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑（jìng）,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發（fā）生器來測試。因此其實找到的不是單一（yī）粒（lì）徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要（yào）求了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以（yǐ）了,而對於高（gāo）要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組中的更加（jiā）不利的那一（yī）個數據.但是並不需要先檢（jiǎn）測出MPPS值。

對（duì）於現（xiàn）場中的DOP檢（jiǎn）測,很多（duō）公司（sī）使用TFI的冷發（fā）塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的.因為（wéi）這裏（lǐ）的結果已（yǐ）經比0.3um為99.99%在實（shí）驗室要求低了。

對（duì）於大部分的項目而言（yán）,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的就需要測（cè）試MPPS了,對於測試方（fāng）法上麵已經有說明,總體而言就是測（cè）包含MPPS的一段（duàn）區（qū）間粒徑的（de）數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測（cè）試的隻能是樣本,而且不可能全（quán）部都（dōu）測.因此（cǐ）實際的結果分（fèn）析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資（zī）料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差