保山hepa高效過濾器

其實很（hěn）多人對（duì）於（yú）高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻（zhī）知道（dào）潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美（měi）國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思（sī）其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者（zhě）U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己（jǐ）以前（qián）整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其（qí）後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也（yě）就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子（zǐ）質量中徑,也就是所有的氣（qì）溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的（de）質（zhì）量大於這（zhè）個（gè）值,50%的質量小於這（zhè）個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實（shí）這個規（guī）定要求的是質量中徑（jìng）在0.3um的（de）氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的（de）,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣溶（róng）膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是（shì）粒子尺寸中徑,也就是（shì）有50%的粒子大於這個值.50%的（de）粒子小於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒（lì）的（de）粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是（shì）類似，不能完全等同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列,不（bú）同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對（duì）某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次重（chóng）複試驗。每（měi）次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相（xiàng）的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出來最低（dī）點。根據現在（zài）EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠（jiāo）粒徑不（bú）可能保證為唯一粒（lì）徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意（yì）的是這個標準（zhǔn）差和粒（lì）徑大小沒有直接關係，也就是計算結果（guǒ）和粒徑（jìng）沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频（men）可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場（chǎng）測（cè）試的時候要（yào）求測試一個區間範圍內的所（suǒ）有粒子數量總和;同時也要說明（míng）的（de）是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾（lǜ）速是（shì）多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的（de）所（suǒ）有粒子總數（shù）。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發（fā）塵應該正好落在這（zhè）個範圍之（zhī）內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不（bú）能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以（yǐ）保證有單分（fèn）散相粒徑發出（chū）。

壓縮空氣多分散熱（rè）發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空（kōng）氣（qì）多分散冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器 單分（fèn）散相（xiàng）異凝結 1.05

自（zì）由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們使用的是（shì）第（dì）一種和第二種,用（yòng）光度儀測試質量濃度（dù）比;而歐盟采用後麵四（sì）種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是（shì）符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的（de）。直接把所有的粒子數量加在一起就可（kě）以（yǐ）作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小（xiǎo）於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就（jiù）不是這麽回事了。因（yīn）為標準差大於1.5，因此在（zài）進行（háng）測試的時候要（yào）求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道（dào）的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全（quán）部或者部分粒（lì）子數量即可。

舉例來說明:現（xiàn）在EN已經（jīng）發現（xiàn）MPPS粒子一般坐（zuò）落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全（quán）部範圍或（huò）者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所（suǒ）以實（shí）際的結果是大部分（fèn）廠家或者測試方最終的（de）計數（shù）結果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的測量範（fàn）圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是（shì）規範也可以要求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段（duàn）上任選（xuǎn）一（yī）組作為劑量範圍.因此實（shí）際的測試可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在（zài）其中三個分（fèn）段裏麵任選一個並且選擇（zé）全部（bù）的粒（lì）子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子（zǐ）分析（xī）儀來。實際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間（jiān）的。因為大部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子（zǐ）,因此采用第二種（zhǒng）分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種（zhǒng）是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的（de）時候；

另外一（yī）種是用粒子計數器或者粒（lì）徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數（shù）量。不過需要說明（míng）的是不能（néng）認為它什麽粒（lì）徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不（bú）是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二（èr）楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了（le）。

這是因為EN1822-3對於（yú）濾料測（cè）試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不（bú）同的粒徑,通過畫曲線（xiàn）的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的（de）粒（lì）子發生器來測試。因此（cǐ）其實找到的（de）不是（shì）單一粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已（yǐ）經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段（duàn）粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的（de）測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就（jiù）可以了,而對於高（gāo）要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需（xū）要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經（jīng）大於（yú）0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為（wéi）99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求（qiú）低了。

對於（yú）大部分的項（xiàng）目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測（cè）試方法上麵已經有說明,總體而言（yán）就是測包含MPPS的一段區間粒徑的（de）數（shù）量;

6:對測試（shì）結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且（qiě）不可能全（quán）部都測.因此實際的結果（guǒ）分（fèn）析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信（xìn）區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信（xìn）區間/標準（zhǔn）差/幾何標準差