鞍山hepa高效過（guò）濾器

其實很多人對於高效（xiào）過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔（jié）淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末端的高效H14，但是對於（yú）高效過（guò）濾器的一些特性還（hái）是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其（qí）濃度不低於99.97%為美國的（de）A級別高效過濾器,這句話的詳細意（yì）思其實並沒有多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測（cè）試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細（xì）介紹。

不太懂的就看黑體字就（jiù）可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的（de）HEPA 的（de）使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範（fàn）和標準（zhǔn）

目前國（guó）家（jiā）上通行（háng）的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分（fèn）項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規（guī）定對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體效（xiào）率不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠（jiāo）下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖（tú）中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿（chuān）透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以（yǐ）上（shàng）的兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指的是粒子（zǐ）質量中徑,也（yě）就是所有（yǒu）的氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於（yú）這個（gè）值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就（jiù）是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒子尺寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這個值（zhí）.50%的粒子小於這個（gè）值。MMD=0.3um的顆粒們其（qí）實它們的（de）CMD大約（yuē）在0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子占有的數量（liàng）權重雖然小（xiǎo）,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也（yě）僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的（de）分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某一種濾（lǜ）料,比如某一種玻璃纖維（wéi）做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗（yàn）。每次試驗均要發單[準]分散相或者（zhě）多分散（sàn）相的粒（lì）子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的（de）某（mǒu）一個（gè）值。從（cóng）商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶（róng）膠粒徑不可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準差而言（yán）.σ1.5為多分散。需要注意的是（shì）這個（gè）標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒（méi）有關係.因（yīn）此（cǐ）草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這（zhè）個也（yě）就是為（wéi）什（shí）麽MPPS在實際現場測試的時候（hòu）要求測試一個區間範圍內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明（míng）的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需（xū）要明（míng）確額定濾速是（shì）多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒（lì）子總數。這裏所隱含的條件是氣（qì）溶膠的發塵應該正好落在這個（gè）範圍之內,而且粒徑的中值CMD應（yīng）該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能（néng）超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶（róng）膠發生器可（kě）以分（fèn）為若幹種,如（rú）熱發塵（chén）和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證（zhèng）有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分（fèn）散相異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生（shēng）器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種（zhǒng）和第二種,用（yòng）光度儀測試質量濃度比;而歐（ōu）盟（méng）采用後麵四種進行測試（shì），更加合（hé）理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來（lái）作為MPPS的數（shù）量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根據EN1822-5的說法（fǎ）,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試效率的時（shí）候是不計（jì）量粒子分徑的。直接把所有的粒子（zǐ）數量加（jiā）在一起就可以作為上下（xià）遊分別的（de）粒（lì）子計數了（le）。但是這裏要（yào）注意（yì）的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布（bù）的。隻（zhī）要標準差小於（yú）1.5就可以這麽認（rèn）為了。

對於多分散（sàn）相就不是這麽回事（shì）了。因為標準差大於1.5，因（yīn）此在進行測試的時候要求同時測（cè）粒子粒徑（jìng）分布和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要（yào）測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說（shuō）明:現在（zài）EN已（yǐ）經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這（zhè）個（gè）範圍的（de）最大值與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因（yīn）為實際的光學粒子計數器有一（yī）個測量精度問題。大（dà）家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分（fèn）廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量（liàng）範圍.因此實（shí）際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種（zhǒng）情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀（yí）,應該可以在其中三個分段裏麵任選（xuǎn）一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到（dào）底怎麽選根據實際的（de）粒子分析儀來（lái）。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選擇部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的值作為（wéi）劑量（liàng）標準（zhǔn）。

以上是對多分散粒子測試時候的（de）分析與說明（míng）。

3:接收（shōu）方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定（dìng）質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上（shàng）麵特別是在現場的時候；

另外一種是（shì）用粒子計數器或者粒徑（jìng）分析計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測（cè）數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此（cǐ）實（shí）際（jì）的（de）接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已（yǐ）經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾（lǜ）料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而（ér）不是實際測出來的。規定要求測至少六（liù）種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒（lì）徑,所以這更（gèng）加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑（jìng）之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法（fǎ）

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那（nà）一個數據.但是並不需要先檢測（cè）出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其屬（shǔ）於多分散相，因此（cǐ）其實導致的結（jié）果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場（chǎng）的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結（jié）果已經比0.3um為99.99%在（zài）實（shí）驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的（de）就需要測（cè）試MPPS了,對於測試方（fāng）法上麵已經有說（shuō）明,總體而言就是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析（xī）采用了泊鬆分（fèn）布的95%置信區間的結果。

參（cān）考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當（dāng）中提到了統計學相（xiàng）關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何（hé）標準差