資陽hepa高效過濾器

其實（shí）很多人對（duì）於高效過濾器（qì）的了解還是停留（liú）在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於高（gāo）效過濾器的一些特（tè）性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高（gāo）效過濾（lǜ）器,這句（jù）話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比（bǐ）如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測（cè）試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內容（róng）則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾（lǜ）器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效（xiào）過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲（zhōu）持續優化自身規範和標準

目（mù）前國（guó）家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內大部分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對（duì）於MMD=0.3um的（de）顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率大（dà）於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的（de）粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是（shì）所有（yǒu）的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質（zhì）量小於這個（gè）值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對0.3um的要求.其實這個規定要（yào）求的是質量中徑在0.3um的氣（qì）溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相（xiàng）的,是一個範圍內的氣溶膠（jiāo）群體,而絕不是（shì）單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因（yīn）為大顆粒的（de）粒子占有的數量權（quán）重雖然小,但是質量權重很（hěn）大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅（jǐn）僅是類似，不能完全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把（bǎ）以前（qián）的E10 E11 E12均作為HEPA的（de）分類劃入高效係列,不同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是（shì）需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至（zhì）少做5次重複試驗。每（měi）次試驗均要發單[準]分散相或者多（duō）分散相（xiàng）的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統（tǒng）計,絕（jué）大部（bù）分的最易穿透的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間（jiān）的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠（jiāo）粒徑不可能保證（zhèng）為唯一粒徑粒子,從標（biāo）準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標（biāo）準差和粒徑大小沒有直接關係（xì），也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可（kě）以認（rèn）為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時候不是針對某一個（gè）粒（lì）徑（jìng）的而是針對一個區間的。這個也（yě）就是為什麽（me）MPPS在實際現場測試的時候要（yào）求測試一個區（qū）間範圍（wéi）內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同（tóng）的。出廠前需要明確額定濾速是（shì）多（duō）少.

5).對（duì）於實際的MPPS測（cè）試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發（fā）塵（chén）應（yīng）該正好落在這個範圍之（zhī）內,而且粒徑的中值CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規定（dìng）偏差（chà）不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如（rú）熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發（fā）塵,在DPMS的（de）幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散（sàn）冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發（fā）生器 準單（dān）分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試（shì），更加合理（lǐ）優越（yuè）。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是（shì）一個範圍。很（hěn）多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量（liàng）考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分（fèn）徑的（de）。直接把所有的粒子數量加在一起就可以（yǐ）作（zuò）為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的（de）是（shì）單（dān）分散相也不是真正（zhèng）的單分散相（xiàng）還是有（yǒu）各種粒徑分（fèn）布的。隻（zhī）要標準差小於1.5就可（kě）以這麽（me）認為了。

對（duì）於（yú）多分散相就（jiù）不是這麽回事了。因（yīn）為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同（tóng）時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候（hòu）,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒（lì）子數量即可。

舉例來說（shuō）明:現（xiàn）在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一般坐（zuò）落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最（zuì）小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的（de）全部範圍或者部分。這是因為實際（jì）的光學粒子（zǐ）計數器有一個測量精度問題（tí）。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大（dà）部（bù）分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數（shù）作為計量基礎（chǔ）。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但是（shì）規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光（guāng）學粒子分析儀（yí）,應該可以在其（qí）中三個分段裏麵任選一個並且選擇全（quán）部的粒子或者（zhě）部分的粒子。到底怎麽選根（gēn）據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是（shì）選擇0.1-0.2um之間的。因為（wéi）大部分（fèn）MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多分散粒子（zǐ）測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有（yǒu）兩種方法（fǎ）。

一（yī）種（zhǒng）是用於測定質量濃度的光度計,它不能（néng）計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時候（hòu）；

另外一種是用粒子計數器或者粒（lì）徑分析計數器,它既可以測（cè）粒徑（jìng）也可以測數量。不過（guò）需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的（de）一清二楚. 因此實際的（de）接收（shōu）粒子MPPS是在一（yī）段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說過了（le）。

這是因為（wéi）EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測（cè）出來的。規定要求測至少（shǎo）六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方（fāng）法隻能用單分散相（xiàng）的粒子發生器來測試。因此其實找到的（de）不是單一（yī）粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是（shì）粒子分析隻能測（cè）試出某一段粒徑（jìng）之間而絕不是細到每一（yī）粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對（duì）於其測試質量（liàng）濃度就（jiù）可以（yǐ）了,而對於高要求的U15以上要（yào）求用粒子計數器,並且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要（yào）先檢測（cè）出MPPS值。

對於現（xiàn）場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發（fā）塵,由於其（qí）屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因（yīn）為這（zhè）裏的（de）結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對於（yú）大（dà）部分的（de）項目而言,還是使用H14以上的高效比較（jiào）保險（xiǎn）。

5. EN1822測試方法

對（duì）於H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試（shì）方（fāng）法上麵已經有說明,總體而言就是測（cè）包（bāo）含MPPS的一段（duàn）區間粒徑（jìng）的數量;

6:對測試結果的分析

由於現（xiàn）場（chǎng）測試的隻（zhī）能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果（guǒ）分析采用（yòng）了泊鬆分布（bù）的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資（zī）料當中提（tí）到了統計（jì）學相關知識,包括泊（bó）鬆分布/95%置信（xìn）區間（jiān）/標準差/幾何標準差