張家（jiā）界hepa高效過濾器

其實很多（duō）人對於高效過濾（lǜ）器的了解還（hái）是停留在表麵上的，

比（bǐ）如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於（yú）高效過濾器的（de）一些特性還是不太了（le）解的（de）！

比如效率為針對（duì）0.3um的粒子其濃度不（bú）低於99.97%為美國的A級別高效（xiào）過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思（sī）考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是（shì）什（shí）麽（me）？

下（xià）麵的內容則是（shì）我（wǒ）自己以前整（zhěng）理的一些筆記，針對高（gāo）效過濾器的一（yī）些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說（shuō）起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過（guò）濾器（qì）

最早的HEPA 的使（shǐ）用來源（yuán）於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行（háng）的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準（zhǔn）。中（zhōng）國國內大部分項目（mù）緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於（yú）99.95%的就可以,也（yě）就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在（zài）MPPS 的粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描（miáo）述
針對（duì）以上的（de）兩張表格,分析如下:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要（yào）求（qiú）.其（qí）實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也（yě）就是氣（qì）溶膠是單分散相或（huò）者多分（fèn）散相的（de）,是一個（gè）範圍內的氣溶（róng）膠群體,而絕不是單一（yī）粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子（zǐ）尺寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒（lì）子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約（yuē）在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有（yǒu）的數量權重雖然小,但是質（zhì）量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也（yě）僅僅是類（lèi）似，不能（néng）完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類（lèi）劃入高效係列（liè）,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需（xū）要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室（shì）測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散（sàn）相（xiàng）或者（zhě）多分散相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區（qū）間（jiān）。最後用曲線做出來最低（dī）點。根據（jù）現（xiàn）在EN1822的統計,絕（jué）大部分的最易穿透的粒子粒（lì）徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一個值。從（cóng）商業角度而言,氣溶膠（jiāo）發（fā）生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的（de）氣溶膠粒（lì）徑不可（kě）能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而（ér）言.σ1.5為（wéi）多分散。需要注意的是（shì）這個標準差（chà）和粒（lì）徑大小沒（méi）有直接關係，也就是計算結果（guǒ）和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的（de）粒徑大小在測試的時候不是針（zhēn）對某一個粒（lì）徑的而是針對一個區間的（de）。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有（yǒu）粒（lì）子數量總和;同時也要說明的是不同的（de）過濾風速（sù）下MPPS是（shì）不同的。出廠前需要明確額定濾速是（shì）多少.

5).對於實（shí）際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏（lǐ）所隱含的條件是氣溶膠（jiāo）的發塵應該正好落在這個範圍（wéi）之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發（fā）生器

氣溶膠發生器可（kě）以分為若（ruò）幹種,如熱（rè）發塵和冷發塵,異凝結（jié）發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單（dān）分（fèn）散（sàn）相粒徑（jìng）發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷（lěng）發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠（jiāo）發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一（yī）種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不（bú）可能直接測量一個粒（lì）徑值。其實是一（yī）個範圍。很多（duō）工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作（zuò）為MPPS的數量（liàng）考慮應（yīng）該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測（cè）試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在（zài）一起就（jiù）可以作（zuò）為上下遊分別（bié）的粒子計數（shù）了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真（zhēn）正的單分散相還（hái）是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就（jiù）可以這麽認為了。

對於多分散相就不（bú）是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因（yīn）此在進行測試的時（shí）候要求同時測粒（lì）子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部（bù）或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之（zhī）間。這個範圍的最大值（zhí）與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒（lì）子計數器有一個測量精度問題。大家知道（dào）的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數作為計量基礎（chǔ）。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量（liàng）範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計（jì）量。

考慮到實際的光學粒子分析（xī）儀（yí）,應該（gāi）可以在其中三個分（fèn）段裏（lǐ）麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒（lì）子。到底怎麽選根據實（shí）際的粒（lì）子分析儀來。實際的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之（zhī）間的（de）。因（yīn）為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種（zhǒng）分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準（zhǔn）。

以上是對多分（fèn）散（sàn）粒子（zǐ）測試時候的分（fèn）析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方（fāng）法。

一種是用於測定質量濃度的光（guāng）度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外（wài）一種是用粒子計數器或者粒徑分析（xī）計數器,它既可以測粒徑也可以測數量（liàng）。不過需要說明的是不（bú）能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分（fèn）段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能分析的一清二（èr）楚. 因此實（shí）際的接（jiē）收粒子MPPS是在一段（duàn）粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找（zhǎo）出來的,而不是實際測出來的（de）。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來（lái）測試。因此其實找到（dào）的不（bú）是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了（le）是粒子（zǐ）分析隻（zhī）能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的（de）;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度（dù）就可以了,而對於高要求的U15以上（shàng）要求用（yòng）粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加（jiā）不利的那一個數據.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於（yú）其（qí）屬於多分散相，因（yīn）此（cǐ）其實導致的結（jié）果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理（lǐ）的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的（de）項目而言（yán）,還是使用H14以上的高效比較保（bǎo）險（xiǎn）。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測（cè）試MPPS了,對（duì）於測試方法（fǎ）上麵已經有說明,總體而言（yán）就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能（néng）全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在（zài）資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾何（hé）標準差