玉溪hepa高效過濾（lǜ）器

其實很多（duō）人對於高效過濾器的了解還是停留在表（biǎo）麵上（shàng）的，

比如隻知道潔淨（jìng）室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效（xiào）F9+末（mò）端（duān）的高效H14，但是對於高效（xiào）過濾（lǜ）器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低（dī）於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器（qì）的測試粒子的尺寸是什（shí）麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效過濾器（qì）的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就（jiù）可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源於（yú）美國軍（jun1）方, 為（wéi）MIT相關標準。其後歐洲持續優化自（zì）身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內大部分項目緊跟的（de）是（shì）EN1822標準。

IEST規定對於（yú）MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為（wéi）高效;EN1882規定隻要（yào）在（zài）MPPS的氣溶（róng）膠下通過（guò）率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以看（kàn）到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然（rán）是（shì）在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表（biǎo）格,分析如（rú）下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質（zhì）量中徑,也就是（shì）所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅是針（zhēn）對0.3um的要求.其（qí）實這（zhè）個規（guī）定要求的是質量中徑（jìng）在（zài）0.3um的氣溶膠群,也就是（shì）氣溶膠是單分散相或（huò）者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的（de）粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的（de）CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量（liàng）權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等同（tóng）於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全（quán）等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入（rù）高（gāo）效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是需要對某一種濾（lǜ）料,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的（de）。需要（yào）至少做5次重（chóng）複試驗。每次試（shì）驗均要發單[準]分散相或者多分散相的（de）粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最低點。根據（jù）現在EN1822的統計,絕大部分（fèn）的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發（fā）生器或者（zhě）LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠（jiāo）粒徑不可能保證（zhèng）為唯一粒徑粒（lì）子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為（wéi）多分散。需要注意（yì）的（de）是（shì）這個標準差和粒徑大（dà）小沒有（yǒu）直接關係（xì），也就是計算結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可（kě）以認為MPPS的粒（lì）徑（jìng）大小在測試的時候不是針對某一個粒徑（jìng）的而（ér）是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的（de）時候要求測試一個（gè）區間範圍內的（de）所有粒子數量總和;同（tóng）時也（yě）要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾（lǜ）速是（shì）多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內（nèi）的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該（gāi）正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生（shēng）器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空（kōng）氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

自（zì）由噴射凝結式氣溶膠發（fā）生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多（duō）分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從（cóng）美國的IEST可以看出他們使用的是（shì）第一種和第二（èr）種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根據EN1822-5的（de）說法（fǎ）,如果是采用（yòng）單分散相粒子在測試效率的（de）時候是不計量粒子分徑的（de）。直接把所有的粒子數量（liàng）加在一起就可（kě）以（yǐ）作為上下遊分別的（de）粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相（xiàng）也不是真（zhēn）正的單分散相還是有各種粒（lì）徑分布（bù）的。隻要標準差小於1.5就可以（yǐ）這麽認為了。

對於多（duō）分（fèn）散相就不是（shì）這麽回事（shì）了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經（jīng）知道的情況下（xià）,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分（fèn）段（duàn）裏麵的全部或者部（bù）分粒子數量即（jí）可。

舉例來說（shuō）明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍或者部分。這是因為實際（jì）的光學粒（lì）子（zǐ）計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是大部分廠家或者測試（shì）方最終（zhōng）的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作（zuò）為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測（cè）量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範（fàn）也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間（jiān）或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為劑量（liàng）範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到（dào）實際的（de）光（guāng）學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且（qiě）選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子（zǐ）分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選擇部分也就是（shì）0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以（yǐ）上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是（shì）用於（yú）測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵（miàn）特（tè）別是在現場的時候；

另外一（yī）種（zhǒng）是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測（cè）粒徑也可（kě）以測數量。不過需要說明的是不能認為它什（shí）麽粒徑（jìng）都能測,它一般隻能分段（duàn）測（cè）粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是（shì）大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間（jiān）的。上麵已經（jīng）說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於濾（lǜ）料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定（dìng）要求測至少六種不同的粒（lì）徑,通過畫曲線的（de）方法找到（dào）最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來（lái）測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是（shì）一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑,所（suǒ）以這更加說明了是粒子分析隻能測（cè）試出某一段粒徑之間而絕不是（shì）細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法（fǎ）

對於H13和H14,IEST要求（qiú）對於（yú）其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結（jié）果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試（shì）質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因（yīn）為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要（yào）求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總（zǒng）體而言就（jiù）是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑的數量;

6:對測試結果的分（fèn）析

由（yóu）於現場測試的隻能（néng）是樣（yàng）本,而且不可能全部都（dōu）測.因（yīn）此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當（dāng）中提到了統計學（xué）相關知識,包括泊（bó）鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差