陽泉hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效（xiào）率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低於99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵（miàn）的內容（róng）則是我（wǒ）自己以前整理的一些筆記，針（zhēn）對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看（kàn）黑（hēi）體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的（de）使用來源（yuán）於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化（huà）自（zì）身規範和標準

目前（qián）國家上通行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國國內（nèi）大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的整體（tǐ）效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信息（xī）:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍（bèi）這當然（rán）是在MPPS 的（de）粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量（liàng）中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量（liàng）大於這（zhè）個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對（duì）0.3um的要求.其（qí）實這個規定要求的（de）是（shì）質（zhì）量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體（tǐ）,而絕不是（shì）單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是（shì）粒子尺寸（cùn）中徑,也就是有（yǒu）50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這（zhè）個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它（tā）們的CMD大約（yuē）在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有（yǒu）的數量權重雖然小（xiǎo）,但是質量權重很大。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅（jǐn）是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一種（zhǒng）玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者（zhě）多分散相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區（qū）間。最（zuì）後用（yòng）曲線做出來最低點。根據現在EN1822的（de）統計,絕大部分（fèn）的最（zuì）易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣（qì）溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出（chū）的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而（ér）言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果（guǒ）和（hé）粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個（gè）粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測（cè）試的時候（hòu）要求測（cè）試一個區間範圍內的所（suǒ）有（yǒu）粒子數（shù）量總和;同（tóng）時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試（shì）,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應（yīng）該正好落在這個（gè）範圍之內,而且粒（lì）徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠（jiāo）發生（shēng）器可以分為若幹種,如熱發塵和（hé）冷發（fā）塵,異凝結發（fā）塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證（zhèng）有單（dān）分散相（xiàng）粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分（fèn）散（sàn）熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相（xiàng）異（yì）凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從（cóng）美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題（tí）在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子（zǐ）數（shù）量全部加起（qǐ）來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在（zài）測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作（zuò）為上下遊分別的（de）粒子計（jì）數（shù）了。但是這裏要注（zhù）意的是單分散相也不是真正的單（dān）分散（sàn）相還是有（yǒu）各（gè）種粒徑分布的。隻要標（biāo）準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不（bú）是這（zhè）麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在（zài）進行（háng）測試的時候要求同時測粒（lì）子粒徑分布和數量。需要注意的是在（zài）上下遊收集（jí）的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況（kuàng）下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量（liàng）即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比（bǐ）為2.5.因此（cǐ）在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全（quán）部範圍或者部（bù）分。這是因為實（shí）際（jì）的光學粒子計數器有一個（gè）測（cè）量精度問題。大家知道的（de）一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最（zuì）終的（de）計（jì）數結果0.1um-0.2um之間的總數作（zuò）為計量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好（hǎo）的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上（shàng）任選一組作為劑量（liàng）範（fàn）圍.因此實際的測（cè）試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考（kǎo）慮到實際的光學粒子分析（xī）儀,應該可以在其（qí）中（zhōng）三個分段裏麵（miàn）任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀（yí）來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的（de）。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此（cǐ）采用第二種（zhǒng）分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多（duō）分散粒（lì）子測試時候的（de）分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法（fǎ）。

一種是用（yòng）於（yú）測定質量濃度（dù）的光度計,它不能計數。因此可以用（yòng）在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既（jì）可（kě）以測粒徑也可以測數量。不過需（xū）要說明的是不能認為它什麽粒徑都能（néng）測,它一般隻能（néng）分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大（dà）家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析（xī）的一清（qīng）二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒（lì）徑之間的。上麵已經說過（guò）了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過（guò）畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其（qí）實找到的不是（shì）單一粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是（shì）粒子分析隻能（néng）測試出某一段粒徑（jìng）之間而絕（jué）不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法（fǎ）

對於H13和H14,IEST要求（qiú）對於其測試質量濃度就可以（yǐ）了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求（qiú）用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組中的更（gèng）加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測（cè）,很多公（gōng）司使用（yòng）TFI的冷發塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現（xiàn）場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的（de）項目而言,還是使用H14以上的高效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要（yào）測試MPPS了,對於測試方法上麵已經（jīng）有說明,總體而言就是測（cè）包含MPPS的一段區間粒徑（jìng）的數量;

6:對測試結果的分析（xī）

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的（de）結果分析采用了泊鬆分布的（de）95%置信區（qū）間的結果。

參考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統計學相關知（zhī）識,包（bāo）括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差