延安hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停（tíng）留在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還（hái）是（shì）不太（tài）了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低（dī）於99.97%為美國的A級別高（gāo）效過濾器,這句話的詳（xiáng）細意思其實並沒有（yǒu）多少人思考（kǎo）！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什（shí）麽？

下麵的內容則是我（wǒ）自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關（guān）標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上（shàng）通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準（zhǔn）。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的（de）氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可（kě）以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是（shì）整體（tǐ）的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描（miáo）述
針（zhēn）對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶（róng）膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對0.3um的（de）要求.其實這個規定要（yào）求的是（shì）質（zhì）量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相（xiàng）或者多（duō）分（fèn）散（sàn）相的,是一個範圍內的氣溶膠群（qún）體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠（jiāo）;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於EN1882的MPPS的顆粒（lì）直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃（huá）入高效係列,不（bú）同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要（yào）對（duì）某一種濾料,比如某一種玻璃（lí）纖（xiān）維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每（měi）次試驗（yàn）均要發單[準]分散相（xiàng）或者多分散相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而（ér）言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保（bǎo）證為唯一粒徑粒子,從標（biāo）準差而言.σ1.5為多分散。需要（yào）注意的是這個標準差和粒（lì）徑大小（xiǎo）沒有直接（jiē）關係，也就（jiù）是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的（de）時候不是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個區間的。這個也就是為什（shí）麽MPPS在實際現場測試（shì）的時候要求測試一個區（qū）間範（fàn）圍內的所有粒子（zǐ）數量總和;同時也（yě）要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確（què）額定濾速是多少（shǎo）.

5).對於實際的MPPS測試（shì）,一（yī）般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏（lǐ）所隱含的（de）條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範（fàn）圍之內,而且粒徑的（de）中值（zhí）CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如（rú）熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝（níng）結發塵,在DPMS的（de）幫助（zhù）下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分（fèn）散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器（qì） 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣（qì）溶膠發生器 準單分散相自（zì）凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟（méng）采用後（hòu）麵（miàn）四種進行測試，更加合理（lǐ）優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑（jìng）值。其實（shí）是一個範（fàn）圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的（de）說（shuō）法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑（jìng）的（de）。直接把（bǎ）所有的粒子數量加在一起就可以作為（wéi）上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意（yì）的是單分（fèn）散相也不是真正的（de）單分散相還是（shì）有各種粒徑分布的。隻要標準差小於（yú）1.5就可以這麽認為了。

對於（yú）多分散相就不是這麽回事（shì）了。因為標準（zhǔn）差大於1.5，因此在進行測試的（de）時候（hòu）要求同時測粒子粒（lì）徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或者部分粒子數量即（jí）可（kě）。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒（lì）子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大（dà）值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為（wéi）實際（jì）的光學粒子計數器有一個（gè）測量精度問題。大家知道的一（yī）般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要（yào）求（qiú）在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間（jiān）或者在mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任選一組作為劑量範圍.因此（cǐ）實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考（kǎo）慮到實（shí）際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部的（de）粒子或者（zhě）部（bù）分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實（shí）際的工程（chéng）結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為（wéi）大（dà）部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是（shì）0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對（duì）多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法（fǎ）

一般有兩種方法（fǎ）。

一種（zhǒng）是用於（yú）測定質量濃（nóng）度的光度計,它不（bú）能計數。因此可（kě）以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒（lì）子計數器或者粒（lì）徑分析計數器,它既可以測粒徑（jìng）也可以測數量（liàng）。不過需（xū）要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的（de）一清二楚. 因此實際（jì）的接收粒子MPPS是在一（yī）段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出來的,而不是實（shí）際（jì）測出來的（de）。規定要（yào）求測至少六種不（bú）同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區（qū）間（jiān）;

並且在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這更（gèng）加說明（míng）了是粒子分（fèn）析隻能測試（shì）出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而（ér）對於（yú）高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組中的更（gèng）加不（bú）利的那一個數據.但是並不需要先檢測出（chū）MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的（de）冷發塵,由於其屬（shǔ）於多分散相，因（yīn）此其實導致的結（jié）果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比（bǐ）為（wéi）99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已（yǐ）經比0.3um為99.99%在實（shí）驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要（yào）測試MPPS了,對於測試方法上麵已經（jīng）有說明,總體而言就是測（cè）包含MPPS的一段區間粒徑的數（shù）量（liàng）;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果（guǒ）分析采用了（le）泊鬆分（fèn）布的（de）95%置信區（qū）間的結果。

參考資（zī）料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差（chà）