宿遷hepa高效過濾器

其實（shí）很多人對於高效（xiào）過濾器的了解還是停留在表麵上（shàng）的，

比如隻知道潔淨室（shì）要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但（dàn）是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為（wéi）針對（duì）0.3um的粒子（zǐ）其濃（nóng）度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並（bìng）沒有多少人思考！

比（bǐ）如（rú）MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測（cè）試粒子的尺寸是什麽（me）？

下麵的內容則是我自（zì）己（jǐ）以前整（zhěng）理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂（dǒng）的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說（shuō）起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的（de）使用來（lái）源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優（yōu）化自身規範和（hé）標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標（biāo）準。中國國內（nèi）大部分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於（yú）99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的（de）兩張表（biǎo）格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是（shì）所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不（bú）要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要（yào）求.其實這個規定要（yào）求的是質量中（zhōng）徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也（yě）就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不（bú）是單（dān）一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是（shì）有50%的粒子大於（yú）這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約（yuē）在（zài）0.2um.這是因為大顆粒的（de）粒子（zǐ）占有的數量權重雖然小,但（dàn）是質量權重很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的（de）分類劃入高效係列,不同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要（yào）對某一種濾料,比如（rú）某一種玻璃纖維做實（shí）驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最（zuì）後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿（chuān）透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的（de）氣溶膠粒徑不可能保證為（wéi）唯一粒徑粒（lì）子,從標準差而言（yán）.σ1.5為多分散。需要（yào）注意的是這（zhè）個標準差和粒（lì）徑大小沒有直接關（guān）係，也（yě）就是計算結果和粒徑沒有關係.因此（cǐ）草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可（kě）以（yǐ）認為MPPS的粒徑大小（xiǎo）在測試的時候不是針對某一（yī）個粒徑的而是針對一（yī）個區間的。這個也就是為什（shí）麽（me）MPPS在（zài）實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總（zǒng）和;同（tóng）時也要說（shuō）明的是不同的過濾（lǜ）風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對（duì）於實際的MPPS測試,一般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的（de）條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定（dìng）偏差不能（néng）超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發（fā）生（shēng）器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱（rè）發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同（tóng）凝結發塵,在DPMS的（de）幫助下可（kě）以保證有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多（duō）分散冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣（qì）溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶（róng）膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從（cóng）美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀（yí）測試質量濃（nóng）度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加（jiā）合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒（lì）徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作（zuò）為MPPS的數量考（kǎo）慮應該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分（fèn）徑的。直接把所有的粒子數（shù）量（liàng）加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是（shì）單分散相也不是真正的（de）單分散（sàn）相還是（shì）有各種粒徑分（fèn）布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了（le）。

對於多分散相（xiàng）就不是這麽回事了（le）。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒（lì）徑分（fèn）布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候（hòu）,在MPPS已經知道的情況下（xià）,隻（zhī）需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來（lái）說明:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為（wéi）2.5.因此在EN1822-5的（de）要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的（de）光學粒子計數器有一（yī）個（gè）測量精度問題。大家知道的一般是測量分（fèn）段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方（fāng）最終的計數（shù）結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是（shì）規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段上任（rèn）選一（yī）組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒子。到底怎麽選根據實（shí）際的粒子分（fèn）析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二（èr）種分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接（jiē）收方法（fǎ）

一（yī）般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因（yīn）此可（kě）以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需（xū）要說明的是不能（néng）認為它什麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大（dà）家想（xiǎng）象的（de）什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能（néng）分析的一清二楚. 因此實際的接收粒（lì）子MPPS是（shì）在一段粒（lì）徑之間的。上麵已經（jīng）說過了。

這是（shì）因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測（cè）至（zhì）少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實（shí）找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這（zhè）更加說明了是粒子分析隻能測試出某一（yī）段粒徑之間而絕不是細到每一粒（lì）徑的;

4. IEST的測試方法

對於（yú）H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了（le）,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據（jù）.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很（hěn）多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求（qiú）了。因此要求現場的測試質量（liàng）濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室（shì）要（yào）求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險（xiǎn）。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說（shuō）明,總體而言就（jiù）是測（cè）包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試（shì）結果的分析

由於（yú）現（xiàn）場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測（cè）.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的（de）結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統（tǒng）計學相關知識,包括泊鬆（sōng）分布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾何標準差