三門峽hepa高效（xiào）過濾器

其實很（hěn）多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比（bǐ）如隻知道（dào）潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對（duì）於高效過濾器的一些特（tè）性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒（lì）子其濃度不低於99.97%為美國的A級別（bié）高效過濾器,這句話的詳細意思（sī）其實並沒有多少人思考（kǎo）！

比如MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效（xiào）率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為（wéi）高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國（guó）軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規（guī）範和標（biāo）準（zhǔn）

目前國家（jiā）上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規（guī）定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率（lǜ）不低於99.97%為（wéi）高效;EN1882規定隻要（yào）在MPPS的氣溶膠下（xià）通過率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以（yǐ）上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個（gè）值（zhí）,50%的（de）質量小於這個（gè）值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實這個規定要求的是（shì）質（zhì）量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群（qún）體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大於這個（gè）值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒（lì）的粒子占有的數量權重（chóng）雖（suī）然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏也僅（jǐn）僅是類似，不能完全等（děng）同。

3).新版的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列,不同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要（yào）對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複（fù）試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或（huò）者（zhě）多分散相的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區間。最後用曲（qǔ）線做出來最低（dī）點。根據（jù）現在EN1822的統計,絕大部分（fèn）的最易穿透（tòu）的粒子粒徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某（mǒu）一個值。從商業角度而言,氣（qì）溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒（lì）徑不（bú）可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準差（chà）而言（yán）.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑（jìng）大小（xiǎo）在（zài）測（cè）試的時候不是（shì）針對某（mǒu）一個粒徑的而是針（zhēn）對一個區間的。這個也就（jiù）是為什麽MPPS在實際現場（chǎng）測試的時候（hòu）要求測試一（yī）個區間範圍內（nèi）的所有（yǒu）粒子數量（liàng）總和;同時也要說明的是（shì）不同的過濾風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前需要明（míng）確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般（bān）要（yào）求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子（zǐ）總數。這裏所（suǒ）隱（yǐn）含的條件是氣溶（róng）膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於（yú）MPPS[理想化（huà）],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器（qì）

氣溶（róng）膠發（fā）生器（qì）可以分為若幹種,如熱發塵（chén）和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和（hé）同凝結（jié）發塵,在（zài）DPMS的幫（bāng）助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮（suō）空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分（fèn）散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

自由噴（pēn）射凝（níng）結式（shì）氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分（fèn）散電移過濾為單分（fèn）散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度（dù）比;而歐盟采用後（hòu）麵四（sì）種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能（néng）直接測量一個粒徑值（zhí）。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起（qǐ）來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範圍（wéi）的。

根據（jù）EN1822-5的說法,如果是采用（yòng）單分散相粒子在測試效率（lǜ）的時候是不計（jì）量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可（kě）以作為上下遊分（fèn）別的粒子（zǐ）計數了。但是這裏要（yào）注意的是單分（fèn）散（sàn）相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可（kě）以這麽認為了。

對於多（duō）分散相就不是這麽（me）回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和（hé）數量。需（xū）要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經（jīng）知道的（de）情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一般坐落於（yú）0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為（wéi）實際的（de）光學（xué）粒子計數器有一個（gè）測量精度問題。大家（jiā）知道的一般是測量分（fèn）段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結果（guǒ）是大部分廠家或者測試方最終的（de）計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的測量（liàng）範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間（jiān）。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上（shàng）任選一（yī）組作為（wéi）劑量範（fàn）圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情（qíng）況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該（gāi）可以（yǐ）在其中三個分（fèn）段裏麵任（rèn）選一個並且選擇全部的粒子或者部（bù）分（fèn）的粒（lì）子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間（jiān）的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以（yǐ）在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑（jì）量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明（míng）。

3:接收方法

一（yī）般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃（nóng）度的光度計,它（tā）不（bú）能計數。因此可以（yǐ）用在DOP方法測（cè）試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器或者粒徑分（fèn）析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不（bú）過需要說（shuō）明（míng）的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能（néng）分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二（èr）楚. 因（yīn）此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規（guī）定要求測至少（shǎo）六種不同的（de）粒徑（jìng）,通過（guò）畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻能用單（dān）分散相（xiàng）的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑（jìng）,所（suǒ）以這（zhè）更加說明了是粒子分析（xī）隻能測試出某一段粒徑之間而絕（jué）不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試（shì）質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀（dú）取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數（shù）據.但是並不需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司（sī）使用TFI的冷發塵,由於其（qí）屬於（yú）多分散相，因此其實導致的結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經（jīng）大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因（yīn）為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對（duì）於H10以（yǐ）上的就需要測試MPPS了,對於測（cè）試方法上麵已經有說明,總體而言就是（shì）測包含MPPS的一段（duàn）區間（jiān）粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現（xiàn）場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的（de）結果分析采用了泊鬆分（fèn）布的（de）95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到（dào）了（le）統計學相關知識,包（bāo）括泊鬆分布（bù）/95%置信區間/標（biāo）準差（chà）/幾何標準差