平頂山hepa高效過濾器

其實很多人對（duì）於高（gāo）效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初效（xiào）G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於（yú）99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句（jù）話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹（shào）的H14或者U15過濾器的（de）測試粒子的尺寸是什麽？

下（xià）麵的（de）內容（róng）則是我自己（jǐ）以前整理（lǐ）的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太（tài）懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器（qì）效率（lǜ）說起

HEPA—high efficiency particulate air為（wéi）高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國（guó）軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身（shēn）規範和（hé）標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效（xiào）;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於（yú）99.95%的就可以,也（yě）就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然（rán）是（shì）在（zài）MPPS 的粒徑考慮之（zhī）下;
IEST描述
針對（duì）以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量（liàng）中徑（jìng）,也就是所有的氣溶膠（jiāo）粒徑分布當中50%的質量（liàng）大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其（qí）實這個規（guī）定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也（yě）就是氣溶膠是單分散相或（huò）者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆（kē）粒們（men）其（qí）實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆（kē）粒的粒子占有的數（shù）量權（quán）重雖然小,但是質量權重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的（de）MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似（sì），不能（néng）完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需（xū）要（yào）對某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每（měi）次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區間。最（zuì）後用曲（qǔ）線做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子（zǐ）粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多（duō）分散。需要注意的是這（zhè）個（gè）標準差和粒徑大小（xiǎo）沒有直接關係（xì），也就是計算結（jié）果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑（jìng）大（dà）小在測試（shì）的時候（hòu）不是針對（duì）某一（yī）個（gè）粒徑的而是針對一個區間的。這個（gè）也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要（yào）求測試（shì）一個區間範圍內的所有粒子（zǐ）數量總和;同時也要說明的是（shì）不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾（lǜ）速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正（zhèng）好落在這個範圍之內,而且粒徑（jìng）的中值（zhí）CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規（guī）定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器（qì）

氣溶膠（jiāo）發生器可以分為若幹種,如熱發塵（chén）和冷發塵,異（yì）凝結（jié）發（fā）塵和（hé）同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出（chū）。

壓（yā）縮（suō）空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散（sàn）相異（yì）凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝（níng）結式（shì）氣溶（róng）膠發生器 準單分散相自（zì）凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定（dìng）

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種（zhǒng）,用光度儀測（cè）試質量濃度比（bǐ）;而歐盟采用後麵四（sì）種進行測試，更加（jiā）合理優越。不過問題（tí）在於MPPS不可能直接測量一個粒（lì）徑值。其實是一個範圍。很多（duō）工廠直（zhí）接把0.1-0.2um之（zhī）間的粒子數量全部加（jiā）起（qǐ）來作為MPPS的數量考慮應該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用（yòng）單分散相粒子（zǐ）在測試效率（lǜ）的時候是不計量粒子分（fèn）徑的。直（zhí）接把所有的粒子數量加在（zài）一起就可以作為上下遊分別的粒子計（jì）數了（le）。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單（dān）分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於（yú）1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量（liàng）。需要注（zhù）意（yì）的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經（jīng）知（zhī）道的（de）情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明（míng）:現在EN已經發現MPPS粒子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的（de）全部範圍或者部分。這是因為實（shí）際的光學（xué）粒子計數（shù）器有一（yī）個測量精度問題。大家（jiā）知道的一般是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分（fèn）廠（chǎng）家或者測（cè）試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數（shù）作為計（jì）量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的（de）測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上任選一組作為劑量範圍.因此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計（jì）量。

考慮到實際（jì）的光（guāng）學粒子分析儀,應該可以在其（qí）中三個分段（duàn）裏麵任選一個並且選（xuǎn）擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是（shì）選擇0.1-0.2um之間的（de）。因為大部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子（zǐ）,因此（cǐ）采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑（jì）量標（biāo）準。

以（yǐ）上（shàng）是對多分散粒子測試（shì）時候的分析（xī）與說明。

3:接收方法

一般有兩種方（fāng）法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能（néng）計數。因此可（kě）以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場（chǎng）的時候；

另外一（yī）種是用粒子計（jì）數器或者粒（lì）徑分析（xī）計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測數量。不過需要說明的是不能認（rèn）為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑（jìng）。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑（jìng）也能（néng）分（fèn）析的一清二楚. 因此實（shí）際的接收粒子（zǐ）MPPS是在一段粒（lì）徑之（zhī）間（jiān）的。上（shàng）麵已經說過了。

這是因（yīn）為EN1822-3對於濾料測試（shì）的（de）最低MPPS的點是曲（qǔ）線找出來的,而不（bú）是實際測出來的。規（guī）定要（yào）求測至少六種不（bú）同的粒徑,通過畫曲線（xiàn）的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒（lì）子發生器來測（cè）試。因此其（qí）實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能（néng）測試出某（mǒu）一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方（fāng）法

對於H13和H14,IEST要求（qiú）對於其測（cè）試質量（liàng）濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不（bú）利的那（nà）一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的（de）DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因此其實導致的結果（guǒ）就（jiù）是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要（yào）求低（dī）了。

對於（yú）大部分的項目而言,還（hái）是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測（cè）試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試（shì）方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒（lì）徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場（chǎng）測試的隻（zhī）能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結（jié）果分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在（zài）資料當中提到了（le）統計學（xué）相關知識（shí）,包括泊鬆（sōng）分布/95%置信區（qū）間（jiān）/標準差/幾何標準差