盤錦（jǐn）hepa高效過濾器（qì）

其實很（hěn）多人對（duì）於高效過（guò）濾（lǜ）器的了解還是停留在表麵上的（de），

比如隻知（zhī）道潔淨（jìng）室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾（lǜ）器的一些（xiē）特（tè）性還是不太了解的！

比如效率為針對（duì）0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過（guò）濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下（xià）麵的內容則是我自己以（yǐ）前整理的（de）一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的（de）使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準（zhǔn）。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的（de）是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下（xià）通過率大於99.95%的就可以,也就是（shì）H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中可以（yǐ）看到如（rú）下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可以是整體（tǐ）的5倍這當然（rán）是（shì）在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子（zǐ）質量中徑,也就是所有（yǒu）的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠群（qún）,也（yě）就是氣溶膠是單分散相（xiàng）或者多（duō）分散（sàn）相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一（yī）粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是粒子尺（chǐ）寸中徑,也就是（shì）有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值（zhí）。MMD=0.3um的顆粒們其實它們（men）的CMD大約在0.2um.這是因為（wéi）大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同（tóng）於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是（shì）類似（sì），不（bú）能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是（shì）多少（shǎo）,是需要對某（mǒu）一種濾料,比（bǐ）如某一種玻璃纖（xiān）維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分（fèn）的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個（gè）值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶膠粒（lì）徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個（gè）標準差（chà）和（hé）粒徑大小沒有直接（jiē）關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑（jìng）大小（xiǎo）在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什（shí）麽MPPS在（zài）實際現（xiàn）場（chǎng）測試的時候要求測（cè）試一個（gè）區（qū）間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要（yào）求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差不能超過10%;

2.氣溶膠發（fā）生器

氣溶膠發生器可以分（fèn）為若幹種,如熱（rè）發（fā）塵和冷發（fā）塵,異凝結發塵（chén）和同凝結發塵,在（zài）DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分（fèn）散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生（shēng）器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器（qì） 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣（qì）溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣（qì）溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和（hé）第二種,用光度儀測試質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後麵（miàn）四種進（jìn）行測試，更加（jiā）合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒（lì）徑值。其實是（shì）一個範（fàn）圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部（bù）加起來作（zuò）為MPPS的數量考慮應該是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的（de）。直接（jiē）把所（suǒ）有（yǒu）的粒子數量加在一起（qǐ）就可以作為（wéi）上下遊分別的（de）粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布（bù）的。隻要（yào）標準差小於1.5就可以這麽認為了（le）。

對於多分散相就（jiù）不是這麽回事了。因為標準差大於（yú）1.5，因此（cǐ）在（zài）進（jìn）行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布（bù）和數量。需要注意的是在（zài）上下遊收集的時候,在（zài）MPPS已經知道的情況下,隻需要測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏麵的全部或者部分（fèn）粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實（shí）際（jì）的光學粒子計數（shù）器有一個測（cè）量精度問題。大家知道（dào）的一般是測量（liàng）分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方（fāng）最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間（jiān）。但（dàn）是規範（fàn）也（yě）可（kě）以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑（jì）量範圍.因此實際的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行（háng）計量。

考慮到實際的光（guāng）學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一（yī）個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底（dǐ）怎麽選根據實際的粒子分析儀（yí）來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間（jiān）的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用（yòng）第二種（zhǒng）分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對（duì）多分散粒子測（cè）試時候的分析與說明。

3:接收方（fāng）法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質（zhì）量濃度的光度計,它不能計數。因（yīn）此可以用在DOP方（fāng）法測（cè）試H13和H14上麵（miàn）特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器（qì）或者粒徑分析（xī）計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什（shí）麽粒徑都（dōu）能測,它（tā）一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二（èr）楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的（de）。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法（fǎ）隻能用單分散相的（de）粒子發生器來測試（shì）。因此其實（shí）找到（dào）的（de）不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒（lì）子分析隻能測試出某一段（duàn）粒徑（jìng）之間（jiān）而（ér）絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上（shàng）要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加（jiā）不利的那（nà）一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測（cè）,很（hěn）多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於（yú）多分散相，因此（cǐ）其實（shí）導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大（dà）部分的項目而言,還是使用H14以（yǐ）上的高效比較（jiào）保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於（yú）H10以（yǐ）上（shàng）的（de）就需要測（cè）試（shì）MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含（hán）MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試（shì）結果的分析

由於現場（chǎng）測試的隻能是樣本（běn）,而（ér）且不可（kě）能全部都測（cè）.因此實際的結（jié）果分（fèn）析采用了泊鬆分布的95%置信區間（jiān）的結果。

參考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提（tí）到了統計學相關知識,包括（kuò）泊鬆（sōng）分布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾何標準差