眉山hepa高效過（guò）濾器

其實很多人對於高效過（guò）濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中（zhōng）效F5+中高效F9+末端的（de）高效H14，但是對於高（gāo）效過濾器的一些特性（xìng）還是（shì）不太（tài）了解的！

比如效（xiào）率為針對0.3um的粒子其濃（nóng）度不低於99.97%為美國的A級別高（gāo）效過濾器,這句話的（de）詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹（shào）的H14或者U15過濾器（qì）的測試粒子的（de）尺寸是什麽？

下麵的（de）內容則是（shì）我自（zì）己（jǐ）以前整理的一些筆記，針對（duì）高效過濾器的一（yī）些詳細介紹。

不太懂（dǒng）的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效（xiào）過濾器

最早的HEPA 的使用（yòng）來源於美國軍方, 為MIT相關標準（zhǔn）。其（qí）後歐洲持（chí）續優（yōu）化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的（de）是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的（de）顆粒的整體效率不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的（de）氣溶膠下通過率大於（yú）99.95%的就可以,也就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如（rú）下信息:EN1882對於局部（bù）穿（chuān）透（tòu）率可以是整體的（de）5倍這當（dāng）然是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之（zhī）下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子（zǐ）質量中徑,也就是所（suǒ）有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這（zhè）個值.

因此不要認為IEST的規（guī）定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其（qí）實這個規定要求的是質量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是（shì）氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散相（xiàng）的,是一（yī）個範圍（wéi）內（nèi）的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑（jìng）,也就是有50%的粒子大（dà）於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的（de）CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有（yǒu）的數量權重雖然小,但是（shì）質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不（bú）同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試（shì）驗。每次（cì）試驗均要發單[準]分散（sàn）相（xiàng）或者多分散相的（de）粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的（de）統計,絕大部分的最易穿透的（de）粒子粒徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某一個值。從（cóng）商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分（fèn）散。需要注意的是這（zhè）個標準差和粒徑大（dà）小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑（jìng）沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對（duì）某一個粒徑的而是針對一個（gè）區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒（lì）子數量總和;同時也（yě）要說（shuō）明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測（cè）試（shì）,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之內的所有粒（lì）子總數。這裏所隱含的條（tiáo）件是氣溶（róng）膠的發塵應該正好（hǎo）落在（zài）這個範（fàn）圍之內（nèi）,而且粒徑的中值CMD應該正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶膠（jiāo）發生器可以分為若幹種,如熱發塵和（hé）冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫（bāng）助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多（duō）分（fèn）散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

自由噴射（shè）凝結式氣溶（róng）膠發生器 準單（dān）分（fèn）散相自凝（níng）結 σ=1.5

氣溶（róng）膠發（fā）塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定（dìng）

從美國的IEST可以看出他們使（shǐ）用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量（liàng）濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一（yī）個粒徑值。其實（shí）是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散（sàn）相粒子在（zài）測（cè）試效率的時（shí）候是不計量粒（lì）子分（fèn）徑的。直接把所有（yǒu）的粒子數量加（jiā）在（zài）一（yī）起就可以（yǐ）作為上下遊分別的粒子計數了。但是（shì）這裏要注（zhù）意的是單分（fèn）散相也不是真正的單分散相還是有各種粒（lì）徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對（duì）於多分散相就不是這麽回（huí）事了。因為標準（zhǔn）差大於1.5，因此在進（jìn）行測試（shì）的（de）時候要求同時測粒子粒（lì）徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收（shōu）集的時候,在MPPS已經知道的（de）情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的全部或者部分粒子（zǐ）數量即（jí）可。

舉例來說明:現在（zài）EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比（bǐ）為2.5.因此（cǐ）在EN1822-5的要（yào）求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的（de）全（quán）部範圍或者部分。這是因為實（shí）際的（de）光學粒子（zǐ）計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大（dà）部分廠家或者測試方最終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之間的（de）總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可（kě）以要求在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間（jiān）或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍（wéi）.因此實際（jì）的測（cè）試可以（yǐ）在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析（xī）儀,應該可以在其中三個（gè）分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或（huò）者部分的粒（lì）子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子,因此采用第二種（zhǒng）分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散（sàn）粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於（yú）測定質（zhì）量濃度的（de）光度計,它不能計數（shù）。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外（wài）一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它（tā）既可（kě）以測粒徑也可以測（cè）數量。不過需要說明的是不能認為它什麽（me）粒徑（jìng）都能測（cè）,它一般隻能分段測粒（lì）徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象（xiàng）的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經（jīng）說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最低MPPS的點是曲線找出來（lái）的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其實找到的不是單一粒（lì）徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子（zǐ）分析隻能測試出某一段粒徑之（zhī）間而絕不是細到（dào）每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以（yǐ）了,而對於高要（yào）求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢（jiǎn）測（cè）,很多公（gōng）司使用TFI的（de）冷發塵,由於其屬於（yú）多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大於0.3um的要求了。因（yīn）此要求現場的測試質量濃度比為（wéi）99.99%@H13H14是合理的.因為（wéi）這裏的結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是（shì）使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需（xū）要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是（shì）測包含MPPS的一段區間粒徑的數（shù）量;

6:對測試結果的分析

由於現場測（cè）試的隻（zhī）能是樣本,而且不可能全部都測（cè）.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分（fèn）布/95%置信區間/標準差/幾何標準差