茂名（míng）hepa高效過濾（lǜ）器

其實很（hěn）多人對（duì）於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不（bú）低於99.97%為美國（guó）的A級別高效過濾器（qì）,這句（jù）話的詳細意（yì）思其實並沒有（yǒu）多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己以前整理的（de）一些筆記，針（zhēn）對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂（dǒng）的（de）就看黑體字就可以了（le）！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源（yuán）於美國軍方, 為MIT相關（guān）標準。其後歐洲持續優化自身規範（fàn）和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶（róng）膠下通過率大於99.95%的就（jiù）可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以看到如（rú）下信息:EN1882對於局部穿（chuān）透率可（kě）以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮（lǜ）之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分（fèn）析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的（de）質量大於這（zhè）個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量（liàng）中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分散相的,是（shì）一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這（zhè）個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們（men）的CMD大約在（zài）0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重（chóng）雖然小,但是質量（liàng）權重（chóng）很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的（de）顆粒（lì）直徑.這裏（lǐ）也（yě）僅僅（jǐn）是類（lèi）似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃（huá）入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如（rú）某一（yī）種玻璃纖維做實（shí）驗（yàn）室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次（cì）試驗均要（yào）發（fā）單[準]分散相或者多分散（sàn）相的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區間。最後用（yòng）曲（qǔ）線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的（de）粒子（zǐ）粒徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為（wéi）唯一粒徑（jìng）粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散（sàn）。需要注意（yì）的是這個標準差和粒（lì）徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑（jìng）大（dà）小在測試的時候（hòu）不是針對某一（yī）個粒徑的（de）而是針（zhēn）對一個區間的。這個也就（jiù）是（shì）為（wéi）什麽MPPS在實際現場測試的（de）時候要（yào）求測試一個區間範圍內（nèi）的所（suǒ）有粒子數量總（zǒng）和;同時也（yě）要說明的是不同的過濾風速下（xià）MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾（lǜ）速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之（zhī）內的所（suǒ）有粒子總數。這裏所隱含的條件是（shì）氣溶膠的發塵應該正好落在（zài）這個範圍之（zhī）內,而且粒徑的（de）中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不（bú）能超（chāo）過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵（chén）,異凝結發塵和同凝（níng）結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷（lěng）發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器（qì） 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一（yī）種和第（dì）二種,用光（guāng）度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進（jìn）行（háng）測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不（bú）可能（néng）直接測量一（yī）個粒徑值。其實是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全部加起來作（zuò）為MPPS的數量考慮應該是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果（guǒ）是采用單分（fèn）散相粒子（zǐ）在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把（bǎ）所有的粒子數量加在一起就可以（yǐ）作為（wéi）上下（xià）遊分別的粒子計（jì）數了。但是這裏（lǐ）要注（zhù）意的是單分散相也不是（shì）真正的單分散（sàn）相還是有（yǒu）各種粒徑分（fèn）布的。隻要標準差小（xiǎo）於1.5就（jiù）可（kě）以（yǐ）這麽認為（wéi）了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差（chà）大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子（zǐ）粒徑分布和數（shù）量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數（shù）量即可。

舉例來說（shuō）明:現（xiàn）在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下（xià）,最好取MPPS/2-MPPS*2的（de）全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個（gè）測量精（jīng）度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是大部分廠家或者測試方最終的計（jì）數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任選（xuǎn）一組作為劑（jì）量範圍.因此（cǐ）實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進（jìn）行計量（liàng）。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可（kě）以在其中（zhōng）三個分（fèn）段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的（de）。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此（cǐ）采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值（zhí）作（zuò）為劑量標（biāo）準。

以上是對多分散（sàn）粒子（zǐ）測試時候的分析與說明。

3:接收方（fāng）法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不（bú）過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它（tā）一般隻（zhī）能（néng）分段測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一（yī）段粒徑之間的。上麵（miàn）已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料（liào）測試的最低MPPS的點是曲線找（zhǎo）出來的,而不是（shì）實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單（dān）分（fèn）散相的粒子發生器（qì）來測試。因（yīn）此其實找到的不是單一粒（lì）徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵（miàn）已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能（néng）測試出（chū）某一段粒徑之間而絕（jué）不是（shì）細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要（yào）求對於（yú）其測試質量濃度（dù）就可以了,而（ér）對於高要求（qiú）的U15以上要求用粒子計數（shù）器,並且直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那（nà）一個數據（jù）.但是並（bìng）不需要先檢測出MPPS值。

對（duì）於現場（chǎng）中的DOP檢測,很多（duō）公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於（yú）多分散相，因此其實導致的結果（guǒ）就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已（yǐ）經比（bǐ）0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大部分的項目（mù）而言（yán）,還是使用H14以上的高效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試（shì）MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包（bāo）含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試（shì）結果的分（fèn）析

由（yóu）於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信（xìn）區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何（hé）標準差