婁底hepa高效過濾器
所屬分類:婁底高效過(guò)濾器
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- 發布日期:2021/03/11
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其實很多人對於高效過濾(lǜ)器的了解還是停留在表麵上的,
比如隻知道潔淨室要(yào)安裝初效G4+中(zhōng)效F5+中高(gāo)效F9+末端(duān)的高效H14,但是對於高效(xiào)過(guò)濾器的一些特性還是不太了解的!
比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低(dī)於99.97%為美國的A級(jí)別高效過濾器(qì),這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考!
比如MPPS方法介紹的H14或者U15過(guò)濾器的測(cè)試粒子的尺寸是什麽?
下麵的內容則是我自己以前整理的一(yī)些筆記,針(zhēn)對高效過濾(lǜ)器的一些詳細介(jiè)紹。
不太懂的就看黑體字就可以了!!!!
1.從HEPA高效過濾器效率(lǜ)說起
HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器
最早的HEPA 的使用來(lái)源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自(zì)身規範和標準
目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。
IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於(yú)99.97%為高(gāo)效(xiào);EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對(duì)於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS
的粒徑考慮之下;
IEST描述
針(zhēn)對以上的兩張表(biǎo)格,分析如下(xià):
1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個(gè)值,50%的質量小(xiǎo)於這個(gè)值.
因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要(yào)求(qiú)的是質量中徑在0.3um的氣(qì)溶膠群(qún),也就是氣溶膠是單分散相或者多分散(sàn)相的,是一個範圍內的氣溶膠(jiāo)群體,而絕不(bú)是單一粒徑的0.3um的(de)氣溶(róng)膠;
2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中(zhōng)徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小(xiǎo)於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是(shì)因為大顆粒的粒子占有的數量(liàng)權重(chóng)雖然小,但是質量權(quán)重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這(zhè)裏也僅僅是類似,不能完全等(děng)同。
3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;
4).MPPS到底是多少,是(shì)需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做(zuò)實驗室(shì)測試的。需要至少做(zuò)5次(cì)重複試驗。每次試驗均(jun1)要發單[準]分(fèn)散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的(de)統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在(zài)0.1um-0.25um之(zhī)間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠(jiāo)粒徑不可能保證為(wéi)唯一粒徑粒子(zǐ),從標(biāo)準差而(ér)言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標(biāo)準差和粒徑大小沒有直接關係,也就(jiù)是計算結(jié)果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的(de)粒徑大(dà)小在測試的時候不是針對某一個粒(lì)徑的而是針對一個區間的。這個(gè)也就是為什麽MPPS在實際現場測試(shì)的時候要求測試一個區間範圍內的所(suǒ)有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不(bú)同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.
5).對(duì)於實際的(de)MPPS測試,一般要(yào)求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有(yǒu)粒子總(zǒng)數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範(fàn)圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏(piān)差不能超過10%;
2.氣溶膠發生器
氣溶(róng)膠(jiāo)發生器可以分為(wéi)若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同(tóng)凝結發塵,在DPMS的幫助下(xià)可以保證有單分散相粒徑發出。
壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM
空氣多(duō)分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM
Sinclair-LaMer 氣(qì)溶膠發(fā)生器 單分散相異凝結(jié) 1.05
Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05
自(zì)由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5
氣溶膠發塵+DPMS 多分散電(diàn)移過(guò)濾為單分散相 σ=1.1不穩定
從美國的IEST可以看出他(tā)們使用的(de)是第一種和第二種,用光度儀測試(shì)質量濃度比(bǐ);而歐(ōu)盟采用後麵(miàn)四種進行測試,更加合(hé)理優越。不過問題在於MPPS不可能(néng)直(zhí)接測量一(yī)個粒徑(jìng)值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍(wéi)的。
根據EN1822-5的(de)說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不(bú)計量粒(lì)子分(fèn)徑的。直接把所有的粒子數量加(jiā)在一起就可(kě)以作(zuò)為上下(xià)遊(yóu)分別的粒子計數了。但是這裏要注(zhù)意(yì)的(de)是單分散相也(yě)不是真正的單分散相還是有各種粒(lì)徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。
對於多分散相就不是這麽回事了。因為(wéi)標準差大於1.5,因此在進行測試的時候(hòu)要求同時測粒子(zǐ)粒徑(jìng)分布(bù)和數量。需要(yào)注意的是在上下(xià)遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。
舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大(dà)值與最(zuì)小值之比為(wéi)2.5.因此在(zài)EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範(fàn)圍或者部分。這是因為實際(jì)的光(guāng)學粒子計數器有一個測量精度問題。大(dà)家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果(guǒ)是大部分廠家或者測試方最(zuì)終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。
根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但(dàn)是規範(fàn)也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在(zài)mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一(yī)組作為劑量範圍.因此實際的測試(shì)可以在
MPPS/1.5-MPPS*1.5
MPPS/2-MPPS*1.5
MPPS/1.5-MPPS*2
這三種(zhǒng)情況下進行計量(liàng)。
考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的(de)粒子(zǐ)。到底怎麽選根據實際的粒子分(fèn)析儀來。實(shí)際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大(dà)部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量(liàng)標準。
以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。
3:接收方法
一般有兩種方法。
一種是用於測(cè)定質量濃度的光度計,它不能計數。因(yīn)此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候;
另外一種是用粒子計數(shù)器或者粒徑分析計數器,它既(jì)可以測(cè)粒徑也可以測數量。不過需要說明的(de)是不能認為它什麽(me)粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是(shì)大家想(xiǎng)象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析(xī)的一(yī)清二楚. 因此實際的接收粒子(zǐ)MPPS是在一段粒徑之間的。上(shàng)麵已經說過了。
這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找(zhǎo)出來的(de),而不是實(shí)際測出來的。規定要求測(cè)至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法(fǎ)隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實(shí)找到的不是單一粒徑,而是一個區(qū)間;
並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要(yào)求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明(míng)了(le)是粒子分析隻能測試出某(mǒu)一段粒(lì)徑之間而(ér)絕(jué)不(bú)是細到每一粒徑(jìng)的;
4. IEST的測試方法
對於H13和H14,IEST要(yào)求對(duì)於其測試(shì)質量濃(nóng)度就可以了,而對於(yú)高要求的(de)U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的(de)更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。
對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬(shǔ)於多分散相,因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大(dà)於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度(dù)比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實(shí)驗(yàn)室要求低了。
對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。
5. EN1822測試方法(fǎ)
對於H10以(yǐ)上的就需要測試MPPS了,對於測試方(fāng)法上麵已經有說明,總體而(ér)言就是測包含MPPS的一段區間(jiān)粒徑的數量;
6:對測試結果的分析
由於現場測試(shì)的隻能(néng)是樣本,而且(qiě)不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。
參考資料
IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆(sōng)分布(bù)/95%置信區間/標準差/幾何標準差