六（liù）安hepa高效過濾器（qì）

其實很（hěn）多人（rén）對於高效過濾器的了解還是停留（liú）在表麵上的，

比如（rú）隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些特性還（hái）是不（bú）太了解的！

比如效率為針對0.3um的（de）粒（lì）子其濃度（dù）不低於99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思（sī）其實並沒有多少人思考（kǎo）！

比如MPPS方法（fǎ）介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效過濾器（qì）的一些詳細介紹。

不太懂（dǒng）的就看黑體字就可以了（le）！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾（lǜ）器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關（guān）標準。其後歐洲持續優化自（zì）身規範和標準

目前國家上通（tōng）行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準。中國國內大部分項目緊跟的（de）是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的（de）顆（kē）粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過（guò）率大於（yú）99.95%的（de）就可以,也就（jiù）是（shì）H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可（kě）以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質（zhì）量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑（jìng）分布當（dāng）中50%的質量大於這個（gè）值,50%的質量小於（yú）這個值.

因此不要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就（jiù）是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分散相的（de）,是一個（gè）範圍內的氣溶膠群（qún）體,而絕不是單一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大於這個（gè）值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的（de）CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的（de）數量權重雖然小,但是質量權重很（hěn）大。因（yīn）此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實（shí）大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅是類（lèi）似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以（yǐ）前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比（bǐ）如（rú）某（mǒu）一種玻璃纖維做實驗（yàn）室測試的。需要至少做5次重複試（shì）驗。每次（cì）試驗均（jun1）要發單[準]分散相或者多分散相（xiàng）的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒（lì）子粒徑在0.1um-0.25um之間的某（mǒu）一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或（huò）者LASKIN噴嘴噴出的氣（qì）溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意（yì）的是這個標準差和粒徑大（dà）小（xiǎo）沒有（yǒu）直接關係，也就是計算結果（guǒ）和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這（zhè）個（gè）也就是為（wéi）什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對（duì）於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有（yǒu）粒（lì）子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵（chén）應（yīng）該正好落在這個範圍之內,而且粒（lì）徑的中值CMD應該正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定（dìng）偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣（qì）溶膠發生（shēng）器可以分為若幹（gàn）種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵（chén）和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保（bǎo）證有單分散相粒徑發出（chū）。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生（shēng）器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自（zì）由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵（chén）+DPMS 多（duō）分散電移過濾為（wéi）單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他（tā）們使用的（de）是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐（ōu）盟采用後（hòu）麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接（jiē）測（cè）量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠（chǎng）直（zhí）接把（bǎ）0.1-0.2um之（zhī）間的粒（lì）子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散（sàn）相粒子在測試效率的時候是不計量粒子（zǐ）分徑的。直接把所有的粒（lì）子數量加在一起就可以作為上（shàng）下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注（zhù）意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各（gè）種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回（huí）事了。因（yīn）為（wéi）標準差大於1.5，因（yīn）此在進行測試的時候（hòu）要求同時（shí）測粒子粒（lì）徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收（shōu）集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子（zǐ）一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小（xiǎo）值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍或者部分。這是因為實際的光學粒（lì）子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或（huò）者測試方最終的計數結果（guǒ）0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之（zhī）間。但（dàn）是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍（wéi）.因（yīn）此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行計量。

考慮到實際的光（guāng）學粒子分析儀,應該可以在其中（zhōng）三個分（fèn）段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部的粒子或（huò）者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的（de）粒子分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大（dà）部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多分（fèn）散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一（yī）般有兩種方法。

一種（zhǒng）是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和（hé）H14上麵特別是（shì）在現場的時（shí）候；

另外一種是用（yòng）粒子計數（shù）器或者粒徑分析計（jì）數器（qì）,它既可（kě）以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不（bú）能認為它什麽（me）粒徑都能（néng）測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想（xiǎng）象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一（yī）清二楚. 因此實際的接收（shōu）粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵（miàn）已經說過了（le）。

這是（shì）因為（wéi）EN1822-3對於濾料測（cè）試的最低（dī）MPPS的點是曲線找出來（lái）的,而不是實際測出（chū）來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用（yòng）單分散相的粒子發生器來測試。因此其實（shí）找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更（gèng）加說明了是粒子分析隻能測（cè）試出某一段粒徑之間而絕不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法（fǎ）

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度（dù）就可以了（le）,而對於高（gāo）要求（qiú）的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不利的那一個數（shù）據.但（dàn）是並不需要先檢測（cè）出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的（de）要求了。因此要求現場（chǎng）的測試質（zhì）量濃度比為99.99%@H13H14是合理（lǐ）的.因為這裏的（de）結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要（yào）求（qiú）低了（le）。

對於大（dà）部分（fèn）的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就（jiù）是測包含MPPS的一段區間粒徑的（de）數量;

6:對測試結果的分析

由於現（xiàn）場測試的隻能是樣本（běn）,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信（xìn）區間的結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了（le）統計學相關知（zhī）識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差