景德鎮hepa高效過濾器

其實（shí）很多人對於高效過濾器（qì）的了解還是停（tíng）留在表麵上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但（dàn）是對（duì）於高（gāo）效過濾器的一些（xiē）特性還是不太（tài）了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其（qí）濃度不低於99.97%為美國的A級別（bié）高效過濾（lǜ）器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思（sī）考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器（qì）的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器（qì）的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾（lǜ）器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目（mù）前（qián）國家（jiā）上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於（yú）MMD=0.3um的顆粒（lì）的整體效率不（bú）低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是（shì）整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布（bù）當中50%的質量大（dà）於這個值,50%的（de）質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要（yào）求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶（róng）膠是單分散相或者（zhě）多（duō）分散相的,是一個範（fàn）圍內的氣溶膠群體,而（ér）絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒（lì）子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的（de）粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大（dà）約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數（shù）量權重雖然小,但是質量（liàng）權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏也僅僅是類（lèi）似，不能（néng）完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列,不（bú）同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多（duō）少（shǎo）,是需要對某一種（zhǒng）濾料,比（bǐ）如某一種玻璃纖維做實（shí）驗室測（cè）試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間（jiān）。最（zuì）後用曲線（xiàn）做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分（fèn）的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間（jiān）的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為（wéi）唯（wéi）一粒徑粒（lì）子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準（zhǔn）差和粒徑大（dà）小沒有直接關係，也就是計算結（jié）果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒（lì）徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑的（de）而是針（zhēn）對一個（gè）區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明的（de）是不同的（de）過濾風（fēng）速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對（duì）於實際的（de）MPPS測試,一般要求收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含（hán）的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過（guò）10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若（ruò）幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝（níng）結發塵和（hé）同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散（sàn）熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生（shēng）器 單分散相異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準（zhǔn）單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和（hé）第二（èr）種,用光度儀測試（shì）質量濃度（dù）比;而歐盟（méng）采用後麵四種進行測（cè）試，更加合理優越。不過問（wèn）題在於MPPS不可能（néng）直（zhí）接測量一個（gè）粒徑（jìng）值。其實是一個範圍。很多（duō）工（gōng）廠直接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的（de）說（shuō）法（fǎ）,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作（zuò）為上下（xià）遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑（jìng）分布和數量。需要注意的是在（zài）上下遊收集的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全（quán）部或者部分粒子數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已（yǐ）經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之（zhī）間。這個範圍的（de）最（zuì）大值與最小值（zhí）之比為2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全（quán）部範圍或者部分。這（zhè）是因為實際的光學粒子計（jì）數器有（yǒu）一個測量精度問題。大家知道的一般（bān）是測量（liàng）分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠（chǎng）家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數作為計量基礎。

根（gēn）據EN1822要求（qiú）,最好的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也（yě）可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此實（shí）際的測（cè）試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況（kuàng）下進行（háng）計（jì）量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一（yī）個並且選擇全（quán）部的（de）粒子（zǐ）或者部分的粒子（zǐ）。到（dào）底怎麽選根據實（shí）際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分（fèn）MPPS在0.18um的樣子,因此采用（yòng）第二種（zhǒng）分段（duàn）發可（kě）以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之（zhī）間的值（zhí）作為劑量標準。

以上（shàng）是對多分散粒子測試（shì）時候的分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩（liǎng）種方法。

一種是用於測定質量濃（nóng）度的光度計,它不能計數。因此可以（yǐ）用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者（zhě）粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也（yě）可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什（shí）麽粒徑都能測,它一般隻（zhī）能分段測（cè）粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象（xiàng）的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的（de）一清二（èr）楚. 因（yīn）此實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試（shì）的最低MPPS的點是曲線找出來的,而（ér）不是實際（jì）測出來的。規定（dìng）要求測至少六種不同的粒徑,通（tōng）過畫曲線的方法找到最（zuì）低點MPPS。這（zhè）種方法（fǎ）隻能用單分散相的粒子發（fā）生器來測（cè）試（shì）。因此（cǐ）其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵（miàn）已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑（jìng）之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法（fǎ）

對於（yú）H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接（jiē）讀（dú）取0.1um-0.2um或者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更加（jiā）不（bú）利的那一個數據.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬（shǔ）於多分散相（xiàng），因此其實（shí）導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求（qiú）了。因此要（yào）求現場的測試質（zhì）量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包（bāo）含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對（duì）測試結果的分（fèn）析

由於（yú）現（xiàn）場測試的隻能是樣本,而且不（bú）可能全部（bù）都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆（sōng）分布的95%置信區間的（de）結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且（qiě）在資料當中提到了統計學相關知識,包（bāo）括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差