撫順hepa高效（xiào）過濾（lǜ）器

其實很多人對於高效（xiào）過濾器的了解還是停留在（zài）表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效（xiào）過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度（dù）不低於99.97%為（wéi）美國（guó）的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介（jiè）紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾（lǜ）器的一些詳細介紹。

不太懂（dǒng）的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器（qì）效率（lǜ）說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲（zhōu）持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊（jǐn）跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可（kě）以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿（chuān）透率可以是整體（tǐ）的5倍這當然是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮（lǜ）之下;
IEST描（miáo）述
針對以上的兩張（zhāng）表格,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值（zhí）.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是針（zhēn）對（duì）0.3um的要求（qiú）.其實這（zhè）個規（guī）定要求（qiú）的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群（qún）,也就是氣溶膠是單分散相（xiàng）或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠（jiāo）群體,而絕不是單（dān）一粒徑（jìng）的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有（yǒu）50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這（zhè）個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為（wéi）大顆（kē）粒的（de）粒子占有的數（shù）量權重雖然小,但是（shì）質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分（fèn）類劃入高效係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是需要對某（mǒu）一種濾料,比如某一（yī）種玻璃纖維做實驗室測試的（de）。需要至少做5次重複試驗。每次（cì）試驗（yàn）均要發單[準]分散相或者多分散（sàn）相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區間。最後（hòu）用曲線做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的（de）最易穿透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒（lì）徑粒（lì）子,從標準差而言（yán）.σ1.5為（wéi）多分散（sàn）。需要（yào）注意的是這個（gè）標準差和粒徑大小沒有直接關（guān）係，也就（jiù）是計算（suàn）結果和粒徑沒有（yǒu）關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频（men）可以認為MPPS的粒徑大小（xiǎo）在測（cè）試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個區間的。這個也就是（shì）為什（shí）麽MPPS在實際（jì）現場測（cè）試的時候要（yào）求測試一（yī）個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是（shì）不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明（míng）確額（é）定濾（lǜ）速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要（yào）求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應（yīng）該正好落在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的中值（zhí）CMD應該正好（hǎo）等於（yú）MPPS[理想（xiǎng）化],EN1822規定偏差不能超過（guò）10%;

2.氣溶膠發（fā）生器

氣（qì）溶膠發生（shēng）器可（kě）以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝（níng）結發塵,在DPMS的（de）幫助下可以保證有單（dān）分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分（fèn）散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生（shēng）器 單分散相異凝結 1.05

自由噴（pēn）射凝結（jié）式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣（qì）溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩（wěn）定

從美國的IEST可以看出他（tā）們使用的是第一種和第（dì）二種,用光度（dù）儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行（háng）測試，更加合（hé）理優越（yuè）。不（bú）過問題在於MPPS不（bú）可能直接測（cè）量一個粒徑值。其（qí）實是（shì）一（yī）個範（fàn）圍。很（hěn）多工（gōng）廠直接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的（de）說法,如果是采用單分散相粒子在測（cè）試效率的（de）時候是不計量粒子（zǐ）分徑的。直接把所（suǒ）有的粒子數量加在一（yī）起就可以作為上下（xià）遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真（zhēn）正的單分（fèn）散（sàn）相還是有各種粒徑（jìng）分布的。隻要標準差小於（yú）1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進（jìn）行測試的時候要（yào）求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道（dào）的情（qíng）況下,隻需要（yào）測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏麵的全部或者部分粒子數量即可（kě）。

舉（jǔ）例來說（shuō）明:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或（huò）者部分。這是因為實際的（de）光學粒子（zǐ）計數（shù）器有一個（gè）測量精度問題。大家知道（dào）的一般是測量（liàng）分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數（shù）作為計量（liàng）基礎。

根據EN1822要求,最好的測量（liàng）範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範（fàn）圍.因此實際的測試可以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行（háng）計量。

考慮到實際的光（guāng）學粒子分析儀（yí）,應該可以在其中（zhōng）三個分段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部的粒（lì）子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子（zǐ）分析儀（yí）來。實際的工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因為大部分（fèn）MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采（cǎi）用第二種分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也（yě）就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準（zhǔn）。

以上（shàng）是對多分散粒子測（cè）試時候的分析與說明。

3:接收方（fāng）法（fǎ）

一般有兩種方法。

一種（zhǒng）是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以（yǐ）用（yòng）在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以（yǐ）測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認（rèn）為它什麽粒徑都能測（cè）,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是（shì）大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也（yě）能分析的一清二楚. 因此實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已（yǐ）經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出（chū）來的。規定要求測（cè）至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的（de）方（fāng）法找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其實找到的不（bú）是單一粒徑,而是（shì）一（yī）個區（qū）間;

並（bìng）且在EN1822-4和EN1822-5裏麵（miàn）已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這更加說明了是（shì）粒子（zǐ）分析隻能測（cè）試出某一段粒（lì）徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於（yú）H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就（jiù）可（kě）以了,而對於高要求的U15以（yǐ）上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不（bú）利的那一個數據.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求（qiú）現（xiàn）場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的（de）.因為這裏的結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在實驗室要求低（dī）了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試（shì）方（fāng）法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於（yú）測試方法上麵已經有說明,總體而（ér）言就是（shì）測包（bāo）含MPPS的一段區（qū）間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於（yú）現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因（yīn）此實際（jì）的結果分析采用了泊鬆分布（bù）的95%置信區間的結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且（qiě）在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分（fèn）布/95%置信區間/標準差/幾何標準差（chà）