大連hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過（guò）濾（lǜ）器的了解還（hái）是停留在表麵（miàn）上的，

比如隻知道潔淨室要（yào）安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高（gāo）效過濾器的（de）一些特性還是不太了（le）解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低（dī）於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹（shào）的H14或者U15過濾器的測試（shì）粒子的尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是（shì）我自己（jǐ）以前整理的一些筆記，針對高效（xiào）過濾器的（de）一些詳細介紹。

不太懂的（de）就看黑（hēi）體字就可以了！！！！

1.從HEPA高（gāo）效過濾器（qì）效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國（guó）軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家（jiā）上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規（guī）定對於MMD=0.3um的（de）顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是（shì）H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局（jú）部穿透率可以是整體（tǐ）的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對（duì）以上的（de）兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中徑,也就是所有的（de）氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個（gè）值,50%的質量小於（yú）這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對0.3um的要求.其實（shí）這個規定（dìng）要求的（de）是（shì）質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍（wéi）內的氣溶膠群體,而絕不是單一（yī）粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量（liàng）權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的（de）顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作（zuò）為HEPA的分（fèn）類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是（shì）多少,是需要對某一種（zhǒng）濾料,比如某一種玻璃纖（xiān）維做實驗室測試（shì）的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區（qū）間。最後用曲線做出來最低點。根據現在（zài）EN1822的統計,絕（jué）大部分的最易穿透（tòu）的粒子（zǐ）粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或者（zhě）LASKIN噴嘴噴出的氣溶（róng）膠粒（lì）徑不（bú）可能保證為唯（wéi）一粒徑粒子（zǐ）,從標準差（chà）而言.σ1.5為多分散（sàn）。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可（kě）以認為MPPS的粒徑大小在測（cè）試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個（gè）區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區（qū）間範圍內的所（suǒ）有粒子數（shù）量總和;同時也（yě）要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明（míng）確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶（róng）膠的發塵應該正（zhèng）好落在這（zhè）個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想（xiǎng）化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器（qì）可以分為若幹種,如熱發塵（chén）和冷發塵,異凝結發塵和同凝結（jié）發塵,在DPMS的幫助（zhù）下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空（kōng）氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶（róng）膠發生器 單分散相異（yì）凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多（duō）分散電（diàn）移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的（de）是第一種和第（dì）二種,用光度儀測試（shì）質量濃（nóng）度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實（shí）是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分（fèn）散相粒子在測試效率的時候（hòu）是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加（jiā）在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數（shù）了。但是這裏要注意的是單分散相也（yě）不是真正的單分散相還（hái）是有各種粒徑分布的（de）。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差（chà）大於1.5，因此在（zài）進行測試的時候要求同時測（cè）粒（lì）子粒（lì）徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在（zài）MPPS已經知道的（de）情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵的全部或者部分粒子（zǐ）數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因（yīn）此在（zài）EN1822-5的要求下,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的（de）光學粒子計數器有一個（gè）測量精度問題（tí）。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是大（dà）部（bù）分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的（de）總數作為計（jì）量基礎。

根（gēn）據EN1822要求（qiú）,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間（jiān）。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間（jiān）或者在mpps*1.5-mpps*2的（de）分段上任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行（háng）計（jì）量。

考慮到實際的光學粒子分析（xī）儀,應該可以在其中（zhōng）三個分（fèn）段（duàn）裏麵任選（xuǎn）一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根（gēn）據實際的粒子分析（xī）儀來（lái）。實際的（de）工程（chéng）結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以（yǐ）上是對多分散粒子（zǐ）測試時候的（de）分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一（yī）種是用於測定質量濃度（dù）的光度計,它（tā）不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別（bié）是在現場的時候；

另外（wài）一種是用粒子計數器或（huò）者（zhě）粒（lì）徑分析計數器,它既可以測粒徑也（yě）可以測數量。不過（guò）需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段（duàn）測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵（miàn）已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾（lǜ）料測（cè）試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要（yào）求（qiú）測至少六（liù）種（zhǒng）不同的粒徑,通過畫曲線的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒（lì）子發生（shēng）器來測試。因此其實找到的不是單一粒（lì）徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要（yào）求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以（yǐ）了,而對於高要求的（de）U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那（nà）一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中（zhōng）的DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的（de）冷（lěng）發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了。因此要（yào）求現場的測試質量（liàng）濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求（qiú）低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於（yú）測試方（fāng）法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數（shù）量;

6:對測試結果的分（fèn）析

由於（yú）現場測（cè）試的（de）隻能是（shì）樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采（cǎi）用了泊鬆分布的95%置信區間（jiān）的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中（zhōng）提到了統計學相關知識,包括泊（bó）鬆分布/95%置信區間（jiān）/標準差/幾何（hé）標準差