長治hepa高效過濾器

其實很多人對於高（gāo）效過濾器的了解還（hái）是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器（qì）的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於（yú）99.97%為美（měi）國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是（shì）什麽（me）？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介（jiè）紹（shào）。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效（xiào）率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過（guò）濾器

最早的HEPA 的使用來源（yuán）於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優（yōu）化（huà）自身（shēn）規範和標準

目前國家上通行（háng）的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊（jǐn）跟（gēn）的是EN1822標準。

IEST規定（dìng）對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為（wéi）高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可（kě）以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖（tú）中可以（yǐ）看到如下信息:EN1882對於局部（bù）穿（chuān）透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描（miáo）述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分析如下（xià）:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也（yě）就（jiù）是所有的氣（qì）溶膠粒徑（jìng）分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的（de）規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規（guī）定要求的是質（zhì）量中徑在0.3um的氣（qì）溶膠群,也就是（shì）氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單（dān）一粒徑的0.3um的氣溶膠（jiāo）;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺（chǐ）寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其實（shí）它們的（de）CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有（yǒu）的數量權重雖（suī）然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於（yú）EN1882的MPPS的顆粒（lì）直（zhí）徑.這裏也僅（jǐn）僅是類似，不（bú）能完全（quán）等（děng）同。

3).新版的EN1822-2009把（bǎ）以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入（rù）高效係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如（rú）某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次（cì）試驗均要發單[準]分散相或者多（duō）分散（sàn）相的粒（lì）子,布滿整體的（de）0.1-0.5um的區間（jiān）。最後用曲線做出來最（zuì）低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業（yè）角度而言,氣（qì）溶膠發生（shēng）器或者LASKIN噴（pēn）嘴（zuǐ）噴出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一粒徑粒子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係（xì），也就是計算結果和粒徑沒有（yǒu）關係（xì）.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑（jìng）大小在測試的時候不是（shì）針對某一個粒徑的而是針對一個區間（jiān）的。這個也就是為什麽（me）MPPS在實際現場（chǎng）測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前需（xū）要明確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般（bān）要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶（róng）膠發生器

氣溶膠（jiāo）發生（shēng）器可以分為若幹種,如熱（rè）發塵和冷發（fā）塵,異（yì）凝結發塵和同（tóng）凝結發（fā）塵,在（zài）DPMS的幫助下（xià）可（kě）以保證有單分散相粒徑發（fā）出。

壓縮（suō）空氣多分散（sàn）熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器（qì） 單分散相異（yì）凝結（jié） 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠（jiāo）發（fā）生器 準單分散相（xiàng）自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他（tā）們使（shǐ）用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而（ér）歐盟采用後麵四種（zhǒng）進行測試，更加合理優越（yuè）。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很（hěn）多工廠直接把0.1-0.2um之（zhī）間的（de）粒子數量全部加起來作為MPPS的數（shù）量考慮應該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效（xiào）率的時候（hòu）是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作（zuò）為上下遊分（fèn）別的粒子計數了。但是（shì）這裏要注意的（de）是單分散相也（yě）不（bú）是（shì）真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為（wéi）了。

對於多分散（sàn）相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在（zài）進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收（shōu）集的時（shí）候,在MPPS已經（jīng）知道的情況下,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分（fèn）段裏麵（miàn）的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已（yǐ）經（jīng）發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求（qiú）下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有（yǒu）一（yī）個測量精度問題。大家（jiā）知道的一般是測量（liàng）分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求（qiú）,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要（yào）求在mpps/2-mpps/1.5之間（jiān）或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上（shàng）任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此（cǐ）實（shí）際的測試可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實（shí）際的光學粒子分析儀,應該可以在其中（zhōng）三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接（jiē）收（shōu）方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的（de）光度計,它不（bú）能計數。因（yīn）此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候（hòu）；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器或（huò）者粒徑分（fèn）析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不（bú）過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的（de）粒徑也能分析的一清二楚. 因（yīn）此實際的接收（shōu）粒子MPPS是在一段（duàn）粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的（de）粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的（de）粒子發（fā）生器來測試。因此其（qí）實找（zhǎo）到的不是單一（yī）粒徑,而是一個區（qū）間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以（yǐ）這更加說（shuō）明了是（shì）粒子分析（xī）隻能（néng）測試出（chū）某一段粒徑之間而絕不是（shì）細到每一粒（lì）徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可（kě）以了,而對於高要求的U15以（yǐ）上要求用粒子計數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加（jiā）不利（lì）的那一個數據.但是並（bìng）不（bú）需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷（lěng）發（fā）塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在（zài）0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此（cǐ）要求現場的測（cè）試（shì）質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為（wéi）這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了（le）。

對（duì）於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測（cè）試方法

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵（miàn）已經有說明,總（zǒng）體（tǐ）而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的分析

由於現場（chǎng）測試的隻能是樣（yàng）本,而且不可能全部都測（cè）.因此實際的結果分析（xī）采用了泊（bó）鬆分布（bù）的95%置信區（qū）間的（de）結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資（zī）料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置（zhì）信區間/標準差/幾何標準差