安順hepa高效過濾（lǜ）器

其實很（hěn）多人對於高效過濾器的了解還是停（tíng）留在表麵上的，

比如（rú）隻知道潔淨室（shì）要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中高效（xiào）F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性（xìng）還（hái）是不太了解（jiě）的！

比（bǐ）如效率為針對0.3um的（de）粒子其濃度不低（dī）於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有（yǒu）多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試（shì）粒子的（de）尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的（de）內容則是我自己以前整理的（de）一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體（tǐ）字就可（kě）以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早（zǎo）的（de）HEPA 的使用來（lái）源（yuán）於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐（ōu）洲持（chí）續（xù）優（yōu）化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國（guó）內大部分項目緊跟的（de）是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖（tú）中可以（yǐ）看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍（bèi）這當然是在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之（zhī）下（xià）;
IEST描述
針（zhēn）對（duì）以（yǐ）上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也（yě）就是（shì）所有的氣溶（róng）膠粒徑（jìng）分布當中（zhōng）50%的質量大於這（zhè）個值,50%的質量小於這個值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規（guī）定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的（de）是質量中徑在0.3um的氣溶膠群（qún）,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多（duō）分散相的,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕（jué）不是單一（yī）粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大（dà）於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒（lì）們其實它們的（de）CMD大約在（zài）0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖（suī）然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也（yě）僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少（shǎo）,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一（yī）種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散（sàn）相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而（ér）言,氣溶（róng）膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯（wéi）一（yī）粒徑粒子,從標準（zhǔn）差而言.σ1.5為（wéi）多分散。需要注意（yì）的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有（yǒu）關（guān）係.因此（cǐ）草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大（dà）小在測試的時候（hòu）不是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現（xiàn）場測（cè）試（shì）的時（shí）候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要（yào）說（shuō）明的是（shì）不同的（de）過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實（shí）際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該（gāi）正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝（níng）結發塵,在DPMS的（de）幫（bāng）助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空（kōng）氣多（duō）分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠（jiāo）發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異（yì）凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝結式氣溶膠發生器（qì） 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定（dìng）

從美國的IEST可以看（kàn）出他們（men）使用的是第（dì）一（yī）種（zhǒng）和第二（èr）種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用（yòng）後麵（miàn）四種進行測試，更加合理（lǐ）優越。不過（guò）問題在於（yú）MPPS不可能直接測量一個粒徑值（zhí）。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作（zuò）為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的（de）說法,如（rú）果是采用單分散相（xiàng）粒子在測試效率的時候（hòu）是不計量粒子分徑的。直接把（bǎ）所有的粒子數量加在一起就（jiù）可以作為上下遊分別（bié）的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相（xiàng）也不是真正（zhèng）的單分散相還是有各種粒徑（jìng）分（fèn）布（bù）的。隻要標準差小於1.5就可以（yǐ）這（zhè）麽認為了。

對於多分散相就不是（shì）這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在（zài）進行測試的時候要求同時測粒子粒徑（jìng）分布和數量。需要注意的（de）是在上下遊收集的時候,在MPPS已（yǐ）經（jīng）知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或者部分粒子數量即可。

舉例（lì）來說明:現（xiàn）在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實（shí）際的光學粒子計數器有一個測（cè）量精度問題。大家知（zhī）道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大（dà）部分廠家或者測試方（fāng）最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上任（rèn）選一組作為劑量範圍.因此實際（jì）的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況（kuàng）下進行計量。

考（kǎo）慮到實際的光（guāng）學粒子分析儀,應該可以在其中三個分（fèn）段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際（jì）的（de）工程結果是選擇（zé）0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種（zhǒng）分段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選（xuǎn）擇部分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作為劑量標準。

以上是對多分（fèn）散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩（liǎng）種方法。

一種（zhǒng）是用於測定質（zhì）量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方（fāng）法測（cè）試H13和H14上麵特別（bié）是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都（dōu）能測,它（tā）一般隻（zhī）能（néng）分（fèn）段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能（néng）分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收（shōu）粒（lì）子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線（xiàn）找出來的（de）,而（ér）不是實際（jì）測出來的。規定要求（qiú）測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線（xiàn）的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用單分（fèn）散相的（de）粒子發生器來測試（shì）。因此（cǐ）其實找到的不是（shì）單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這（zhè）更加說明了是粒（lì）子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以（yǐ）了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢（jiǎn）測,很多公（gōng）司使用TFI的冷發塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於（yú）0.3um的要求了。因此要求現（xiàn）場（chǎng）的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的（de）結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上（shàng）的高效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法

對於H10以上的就需要（yào）測試MPPS了,對於測試方（fāng）法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能（néng）全部（bù）都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的（de）結果。

參（cān）考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統計學相關（guān）知識,包括泊鬆（sōng）分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差